Obiettivo
The SeNaTe project is the next in a chain of thematically connected ENIAC JU KET pilot line projects which are associated with 450mm/300mm development for the 12nm and 10nm technology nodes. The main objective is the demonstration of the 7nm IC technology integration in line with the industry needs and the ITRS roadmap on real devices in the Advanced Patterning Center at imec using innovative device architecture and comprising demonstration of a lithographic platform for EUV and immersion technology, advanced process and holistic metrology platforms, new materials and mask infrastructure.
A lithography scanner will be developed based on EUV technology to achieve the 7nm module patterning specification. Metrology platforms need to be qualified for N7’s 1D, 2D and 3D geometries with the appropriate precision and accuracy. For the 7nm technology modules a large number of new materials will need to be introduced. The introduction of these new materials brings challenges for all involved processes and the related equipment set. Next to new deposition processes also the interaction of the involved materials with subsequent etch, clean and planarization steps will be studied. Major European stakeholders in EUV mask development will collaboratively work together on a number of key remaining EUV mask issues.
The first two years of the project will be dedicated to find the best options for patterning, device performance, and integration. In the last year a full N7 integration with electrical measurements will be performed to enable the validation of the 7nm process options for a High Volume Manufacturing.
The SeNaTe project relates to the ECSEL work program topic Process technologies – More Moore. It addresses and targets as set out in the MASP at the discovery of new Semiconductor Process, Equipment and Materials solutions for advanced CMOS processes that enable the nano-structuring of electronic devices with 7nm resolution in high-volume manufacturing and fast prototyping.
Campo scientifico
- engineering and technologynanotechnologynano-materialstwo-dimensional nanostructuresgraphene
- engineering and technologymaterials engineeringcoating and films
- natural sciencesphysical scienceselectromagnetism and electronicssemiconductivity
- natural scienceschemical sciencesinorganic chemistrymetalloids
- engineering and technologymaterials engineeringceramics
Programma(i)
Meccanismo di finanziamento
ECSEL-IA - ECSEL Innovation ActionCoordinatore
5504DR Veldhoven
Paesi Bassi
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Partecipanti (51)
74000 Annecy
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3001 Leuven
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76705 Rehovot
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1109 Dresden
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38000 GRENOBLE
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
3001 HEVERLEE
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Partecipazione conclusa
1322 AP ALMERE
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73614 SCHORNDORF
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
51429 Bergisch Gladbach
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Partecipazione conclusa
78315 Radolfzell
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91300 MASSY
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
7521 PH Enschede
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
7521 PH Enschede
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
5683 CR Best
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
7521PH Enschede
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
Partecipazione conclusa
7521 PH Enschede
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
7521 PH Enschede
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
7521 PH Enschede
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34000 Montpellier
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627 00 Brno
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5651 GG Eindhoven
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80686 Munchen
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01109 Dresden
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
Partecipazione conclusa
63450 Hanau
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85551 Heimstetten
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3001 Leuven
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70569 Stuttgart
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Partecipazione conclusa
82109 KIRYAT GAT
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Partecipazione conclusa
19801 WILMINGTON NEW CASTLE DE
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07745 JENA
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2306990 Migdal Haemek
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DH1 1TW Durham
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
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76187 Karlsruhe
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35781 Weilburg
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23100 Migdal Haemek
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9500 Villach
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3001 Leuven
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20692 Yokneam
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76100 REHOVOT
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38116 Braunschweig
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31700 Blagnac
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
1117 BUDAPEST
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38190 Bernin
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75447 Sternenfels
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
2595 DA Den Haag
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7522 NB Enschede
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5652 AW Eindhoven
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
5651 GG Eindhoven
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Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
5651 GH Eindhoven
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73447 Oberkochen
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1322 AP Almere
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