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Pilot line for micro-transfer-printing of functional components on wafer level

Ziel

The “Pilot Line for Micro-Transfer-Printing of Functional Components on Wafer Level” project (MICROPRINCE) is focused on creation of a pilot line for heterogeneous integration of smart systems by micro-transfer-printing (µTP) in a semiconductor foundry manufacturing environment. Functional components like processed III/V devices, optical filters, and special sensors will be transfer printed to demonstrate the capabilities of the technology and pilot line. Based on several EU and national research activities demonstrating successfully the feasibility of µTP technology in a scientific and laboratory environment, the MICROPRINCE consortium has the goal to setup the first worldwide open access foundry pilot line for heterogeneous integration by µTP and to demonstrate its capability on five defined target application scenarios. For this purpose, the consortium consisting of 13 partners from four different countries combine their expertise along the value chain from materials and equipment, technology and semiconductor processing, integrated circuit and system design, test and application. The partners are industrial companies incl. SME’s, accompanied by leading research institutes with a clear focus on production and application in Europe. The working principle of the micro-transfer-printing technology is to use a micro-structured elastomer stamp to transfer microscale functional components from their native substrates onto non-native substrates. The lateral dimensions of the functional components can range from a few microns to a few hundreds of microns with thicknesses of only a few microns. The native substrate contains the functional components to be printed and is flexible in size and material. The MICROPRINCE pilot line is acting as a regional and nationwide competence cluster for a novel technology with European dimensions for heterogeneous system integration and supports the ECS industry to reach leadership in key applications.

Koordinator

X-FAB MEMS FOUNDRY GmbH
Netto-EU-Beitrag
€ 419 925,00
Adresse
Haarbergstrasse 67
99097 Erfurt
Deutschland

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Region
Thüringen Thüringen Erfurt, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 1 679 700,00

Beteiligte (13)

X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES GMBH
Deutschland
Netto-EU-Beitrag
€ 211 900,00
Adresse
Haarbergstrasse 67
99097 Erfurt

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Region
Thüringen Thüringen Erfurt, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 847 600,00
MELEXIS TECHNOLOGIES
Belgien
Netto-EU-Beitrag
€ 86 162,50
Adresse
Transportstraat 1
3980 Tessenderlo

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Region
Vlaams Gewest Prov. Limburg (BE) Arr. Hasselt
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 344 650,00
MELEXIS TECHNOLOGIES SA
Schweiz
Netto-EU-Beitrag
€ 0,00
Adresse
Chemin De Buchaux 38
2022 Bevaix

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Region
Schweiz/Suisse/Svizzera Espace Mittelland Neuchâtel
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 460 000,00
MELEXIS
Belgien
Netto-EU-Beitrag
€ 38 787,50
Adresse
Rozendaalstraat 12
8900 Ieper

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Region
Vlaams Gewest Prov. West-Vlaanderen Arr. Ieper
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 155 150,00
MELEXIS GMBH
Deutschland
Netto-EU-Beitrag
€ 312 375,00
Adresse
Konrad-zuse-strasse 15
99099 Erfurt

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Region
Thüringen Thüringen Erfurt, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 1 249 500,00
X DISPLAY COMPANY TECHNOLOGY LIMITED

Beteiligung beendet

Irland
Netto-EU-Beitrag
€ 0,00
Adresse
6th Floor, 2 Grand Canal Square
2 Dublin
Region
Ireland Northern and Western Border
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 0,00
HUAWEI TECHNOLOGIES RESEARCH & DEVELOPMENT BELGIUM

Beteiligung beendet

Belgien
Netto-EU-Beitrag
€ 176 344,99
Adresse
Technologiepark-zwijnaarde 19 Aa Tower
9052 Gent
Region
Vlaams Gewest Prov. Oost-Vlaanderen Arr. Gent
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 705 379,96
OPTICS BALZERS JENA GMBH
Deutschland
Netto-EU-Beitrag
€ 97 599,69
Adresse
Otto-eppenstein-strasse 2
07745 Jena

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KMU

Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).

Ja
Region
Thüringen Thüringen Jena, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 292 799,06
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV
Deutschland
Netto-EU-Beitrag
€ 262 407,62
Adresse
Hansastrasse 27c
80686 Munchen

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Region
Bayern Oberbayern München, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Research Organisations
Weitere Finanzmittel
€ 487 328,43
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgien
Netto-EU-Beitrag
€ 504 867,56
Adresse
Kapeldreef 75
3001 Leuven

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Region
Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven
Aktivitätstyp
Research Organisations
Weitere Finanzmittel
€ 937 611,19
UNIVERSITY COLLEGE CORK - NATIONAL UNIVERSITY OF IRELAND, CORK
Irland
Netto-EU-Beitrag
€ 173 125,40
Adresse
Western Road
T12 YN60 Cork

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Region
Ireland Eastern and Midland Dublin
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Weitere Finanzmittel
€ 321 518,59
TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN
Deutschland
Netto-EU-Beitrag
€ 263 946,81
Adresse
Helmholtzstrasse 10
01069 Dresden

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Region
Sachsen Dresden Dresden, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Weitere Finanzmittel
€ 490 186,94
X-CELEPRINT LIMITED
Irland
Netto-EU-Beitrag
€ 67 175,94
Adresse
6th Floor 2 Grand Canal Square
D02 A342 Dublin

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Region
Ireland Eastern and Midland Dublin
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Weitere Finanzmittel
€ 268 703,76