Descripción del proyecto
Caracterización de dispositivos nanoelectrónicos en tiempo real
La producción fiable de dispositivos nanoelectrónicos innovadores requiere un control en línea continuo y en tiempo real. Las herramientas de metrología necesarias para caracterizar de manera precisa los productos a las escalas pertinentes de uno a cientos de nanómetros aún están por desarrollar. Las técnicas de espectroscopia más recientes (como la espectroscopia Raman, infrarroja y de fotoluminiscencia) que mapean los observables físicos a nanoescala no tienen la suficiente resolución para hacer una caracterización detallada de los nanodispositivos. El proyecto CHALLENGES, financiado con fondos europeos, mejorará tanto la resolución espacial como la relación señal/ruido de estas técnicas aprovechando el fenómeno óptico de la resonancia de plasmones superficiales localizada. Las técnicas espectroscópicas mejoradas con plasmones garantizarán la fabricación y el rendimiento fiables de los dispositivos nanoelectrónicos. El proyecto demostrará las nuevas técnicas en tres áreas: semiconductores, dispositivos fotovoltaicos de silicio y materiales 2D.
Objetivo
A cost-efficient production of reliable, innovative materials and devices like advanced electronics products (<65 nm strained channel transistors, CMOS image sensors) requires nanoscale real-time in-line control, nowadays not available, during manufacturing. State-of-the-art techniques capable to map physical observables at the nanoscale compatible with in-line operations, like Raman, InfraRed (IR), Photoluminescence (PL) spectroscopy, do not have typically enough resolution for the detailed characterization of nano-scaled devices. Signal amplification by localized plasmon resonance at a sharp tip can give the opportunity of improving both the spatial resolution and the signal/noise ratio. CHALLENGES main objective is to develop multipurpose nano-optical techniques and metrological protocols for real-time characterization, using plasmonic enhanced Raman, IR and PL signals, capable to enable an increase of speed, sensitivity, spectral range with full cleanroom compatibility within different production environments, to improve devices performance, quality and reliability. CHALLENGES will focus on development and demonstration of such technology on three relevant application contexts: Semiconductor Industry, Si Photovoltaics and 2D Materials. Overall, the envisaged results are expected to be applicable to many other industrial fields in which the materials control at the nanoscale is required, spanning from those others electronics-related (DRAM, non-volatile memory, MEMS) to those one materials science (additive manufacturing, nanocoatings) and life sciences (implants, softmatter apps) related. CHALLENGES is coordinated by a large silicon foundry company and it is strongly driven by industrial and applicative needs. The Consortium includes renowned EU research labs with top-class facilities and capacities, industry leading enterprises and innovative SMEs with a worldwide collaboration network that will boost the international dimension and impact of the project.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas física de la materia condensada cuasipartículas
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
- ciencias médicas y de la salud biotecnología médica implantes
- ingeniería y tecnología ingeniería ambiental energía y combustibles energía renovable energía solar fotovoltaico
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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H2020-EU.2.1.3. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Advanced materials
PROGRAMA PRINCIPAL
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H2020-EU.2.1.2. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies – Nanotechnologies
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
RIA - Research and Innovation action
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) H2020-NMBP-TO-IND-2018-2020
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
00185 Roma
Italia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.