Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Real time nano CHAracterization reLatEd techNloGiEeS

Opis projektu

Charakterystyka urządzeń nanoelektronicznych generowana w czasie rzeczywistym

Stabilny cykl produkcyjny innowacyjnych urządzeń nanoelektronicznych wymaga ciągłej kontroli procesu prowadzonej w czasie rzeczywistym. Nie dysponujemy jeszcze narzędziami pomiarowymi, które umożliwiłyby tworzenie dokładnych charakterystyk w skali, o której mowa, czyli od jednego do stu nanometrów. Najnowsze techniki spektroskopowe (spektroskopie ramanowska, w podczerwieni czy fotoluminescencyjna), które pozwalają tworzy mapy obserwabli fizycznych w skali nano, nie mają wystarczającej rozdzielczości, by przeprowadzić szczegółową charakterystykę nanourządzeń. Finansowany ze środków UE projekt CHALLENGES ma zarówno usprawnić rozdzielczość przestrzenną tych technik, jak i zmniejszyć stopień zaszumienia sygnału w nich uzyskiwanego. W tym celu zostanie wykorzystanie optyczne zjawisko zlokalizowanego rezonansu plazmonów powierzchniowych. Techniki spektroskopowe wzmacniane plazmonowo umożliwią stabilne wytwarzanie dobrze działających urządzeń nanoelektronicznych. Wynikiem prac nad projektem będzie wprowadzenie nowych technologii w trzech obszarach: półprzewodników, fotowoltaiki krzemowej i materiałów dwuwymiarowych.

Cel

A cost-efficient production of reliable, innovative materials and devices like advanced electronics products (<65 nm strained channel transistors, CMOS image sensors) requires nanoscale real-time in-line control, nowadays not available, during manufacturing. State-of-the-art techniques capable to map physical observables at the nanoscale compatible with in-line operations, like Raman, InfraRed (IR), Photoluminescence (PL) spectroscopy, do not have typically enough resolution for the detailed characterization of nano-scaled devices. Signal amplification by localized plasmon resonance at a sharp tip can give the opportunity of improving both the spatial resolution and the signal/noise ratio. CHALLENGES main objective is to develop multipurpose nano-optical techniques and metrological protocols for real-time characterization, using plasmonic enhanced Raman, IR and PL signals, capable to enable an increase of speed, sensitivity, spectral range with full cleanroom compatibility within different production environments, to improve devices performance, quality and reliability. CHALLENGES will focus on development and demonstration of such technology on three relevant application contexts: Semiconductor Industry, Si Photovoltaics and 2D Materials. Overall, the envisaged results are expected to be applicable to many other industrial fields in which the materials control at the nanoscale is required, spanning from those others electronics-related (DRAM, non-volatile memory, MEMS) to those one materials science (additive manufacturing, nanocoatings) and life sciences (implants, softmatter apps) related. CHALLENGES is coordinated by a large silicon foundry company and it is strongly driven by industrial and applicative needs. The Consortium includes renowned EU research labs with top-class facilities and capacities, industry leading enterprises and innovative SMEs with a worldwide collaboration network that will boost the international dimension and impact of the project.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Słowa kluczowe

Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

RIA - Research and Innovation action

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) H2020-NMBP-TO-IND-2018-2020

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Koordynator

UNIVERSITA DEGLI STUDI DI ROMA LA SAPIENZA
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 561 557,78
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 561 557,78

Uczestnicy (16)

Moja broszura 0 0