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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Real time nano CHAracterization reLatEd techNloGiEeS

Description du projet

Caractériser en temps réel des dispositifs nanoélectroniques

Une production fiable de dispositifs nanoélectroniques innovants requiert un contrôle continu, intégré et en temps réel. Pour caractériser avec précision ces produits aux échelles pertinentes, de l’ordre d’un à plusieurs centaines de nanomètres, il nous reste encore à développer les outils de métrologie nécessaires. Les techniques de spectroscopie de pointe (comme les spectroscopies Raman, infrarouge et de photoluminescence) qui cartographient les éléments physiques observables à l’échelle nanométrique ne possèdent pas une résolution suffisante pour permettre une caractérisation détaillée des nanodispositifs. Le projet CHALLENGES, financé par l’UE, améliorera à la fois la résolution spatiale et le rapport signal/bruit de ces techniques en exploitant le phénomène optique de la résonance de plasmons de surface localisés. Les techniques spectroscopiques améliorées par les plasmons garantiront la fiabilité de la fabrication ainsi que les performances des dispositifs nanoélectroniques. Le projet procèdera à la démonstration de ces nouvelles techniques dans trois domaines: les semi-conducteurs, le photovoltaïque en silicium et les matériaux 2D.

Objectif

A cost-efficient production of reliable, innovative materials and devices like advanced electronics products (<65 nm strained channel transistors, CMOS image sensors) requires nanoscale real-time in-line control, nowadays not available, during manufacturing. State-of-the-art techniques capable to map physical observables at the nanoscale compatible with in-line operations, like Raman, InfraRed (IR), Photoluminescence (PL) spectroscopy, do not have typically enough resolution for the detailed characterization of nano-scaled devices. Signal amplification by localized plasmon resonance at a sharp tip can give the opportunity of improving both the spatial resolution and the signal/noise ratio. CHALLENGES main objective is to develop multipurpose nano-optical techniques and metrological protocols for real-time characterization, using plasmonic enhanced Raman, IR and PL signals, capable to enable an increase of speed, sensitivity, spectral range with full cleanroom compatibility within different production environments, to improve devices performance, quality and reliability. CHALLENGES will focus on development and demonstration of such technology on three relevant application contexts: Semiconductor Industry, Si Photovoltaics and 2D Materials. Overall, the envisaged results are expected to be applicable to many other industrial fields in which the materials control at the nanoscale is required, spanning from those others electronics-related (DRAM, non-volatile memory, MEMS) to those one materials science (additive manufacturing, nanocoatings) and life sciences (implants, softmatter apps) related. CHALLENGES is coordinated by a large silicon foundry company and it is strongly driven by industrial and applicative needs. The Consortium includes renowned EU research labs with top-class facilities and capacities, industry leading enterprises and innovative SMEs with a worldwide collaboration network that will boost the international dimension and impact of the project.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Mots‑clés

Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).

Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

RIA - Research and Innovation action

Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme de financement

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) H2020-NMBP-TO-IND-2018-2020

Voir tous les projets financés au titre de cet appel

Coordinateur

UNIVERSITA DEGLI STUDI DI ROMA LA SAPIENZA
Contribution nette de l'UE

La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.

€ 561 557,78
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

€ 561 557,78

Participants (16)

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