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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-15

VACUUM-UV-PHOTO-CVD FOR AMORPHOUS SILICON CARBON ALLOYS.

Ziel

FOR A SOFT DEPOSITION OF AMORPHOUS SIC ALLOYS A SPECIFIC PHOTO CVD PROCESS IS PROPOSED, WHICH CAN BE EXPECTED TO IMPROVE THE P+/I-INTERFACE IN A-SIH-P-I-N SOLAR CELLS.
There is strong evidence that the addition of diborane to the silane gas phase for p-type doping of amorphous silicon pin structures causes dramatic changes in plasma parameters compared with pure silane discharges or mixtures of silane and phosphine. Considerable changes are produced in the properties of boron doped films, compared with undoped or n-doped ones, including a decrease in hydrogen content, gap narrowing, grainy structures and a decrease in dopability. In addition, interface states at the pi interface, which reduce the current of minority carriers in solar cells, are also produced.
A VACCUM-UV-PHOTO-CVD REACTOR FOR DIRECT DECOMPOSITION OF SIH4, SI2H6, B2H6, AND OF HYDROCARBONS (CH4, C4H10) HAS BEEN OPERATED WITH A GASEOUS TRANSMISSION FILTER BETWEEN DEPOSITION CHAMBER AND D2-LAMP. GROWTH RATES MAINLY DEPEND ON TOTAL GAS PRESSURE, WINDOW-TO-SUBSTRATE DISTANCE, AND SPATIAL GAS FLOW DISTRIBUTION IN THE REACTOR. UNDOPED A-SI:H AND A-SIC:H FILMS SHOW FERMI LEVEL POSITION NEAR MIDGAP AND PHOTOCONDUCTIVITIES EXCEEDING THE DATA FOR GLOW DISCHARGE DEPOSITED FILMS. A SHIFT OF FERMI LEVEL POSITION TOWARDS THE VALENCE BAND HAS BEEN ACHIEVED WITH B2H6 DOPING. FOR OPTICAL BANDGAP EG = 2.24 EV ACTIVATION ENERGY DETERMINED FROM TEMPERATURE DEPENDENT DARK CONDUCTIVITY DECREASES FROM > 1 EV (INTRINSIC LAYERS) TO 0.42 EV FOR HEAVILY DOPED FILMS. C-INCORPORATION IS MORE EFFECTIVE WITH C4H10 COMPARED TO CH4 BECAUSE OF HIGHER ABSORPTION CROSS SECTION. SINCE PHOTO CVD GROWTH RATES WITH OUR COMMERCIAL D2-LAMP ARE ABOUT 2 ORDERS OF MAGNITUDE LOWER THAN GLOW DISCHARGE DEPOSITION RATES, A NOVEL LARGE AREA VUV LAMP BASED UPON DIELECTRIC BARRIER DISCHARGES HAS BEEN BUILT.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

UNIVERSITAET STUTTGART
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Keplerstrasse 7
70174 STUTTGART
Deutschland

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten
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