Objetivo A proof of concept project is proposed to assess a new TXRF module for integration in a VPD preparation system for wafers up to 300 mm. This integrated VPD - TXRF system is the first instrument of its kind to be introduced in 2000. It targets the application of contamination monitoring in device manufacturing with special emphasis on 300 mm wafers. As a result of the project the tool should be ready for site evaluation. Programa(s) FP5-IST - Programme for research, technological development and demonstration on a "User-friendly information society, 1998-2002" Tema(s) 1.1.2.-4.8.3 - Processes, equipment and materials Convocatoria de propuestas Data not available Régimen de financiación ACM - Preparatory, accompanying and support measures Coordinador GEMETEC GESELLSCHAFT FUER MESSTECHNIK UND TECHNOLOGIE MBH Aportación de la UE Sin datos Dirección GERETSRIEDER STRASSE 81379 MUENCHEN Alemania Ver en el mapa Coste total Sin datos Participantes (2) Ordenar alfabéticamente Ordenar por aportación de la UE Ampliar todo Contraer todo INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW Bélgica Aportación de la UE Sin datos Dirección KAPELDREEF 75 3001 LEUVEN Ver en el mapa Coste total Sin datos STMICROELECTRONICS SA Francia Aportación de la UE Sin datos Dirección 29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND 92120 MONTROUGE Ver en el mapa Coste total Sin datos
