Objectif A proof of concept project is proposed to assess a new TXRF module for integration in a VPD preparation system for wafers up to 300 mm. This integrated VPD - TXRF system is the first instrument of its kind to be introduced in 2000. It targets the application of contamination monitoring in device manufacturing with special emphasis on 300 mm wafers. As a result of the project the tool should be ready for site evaluation. Programme(s) FP5-IST - Programme for research, technological development and demonstration on a "User-friendly information society, 1998-2002" Thème(s) 1.1.2.-4.8.3 - Processes, equipment and materials Appel à propositions Data not available Régime de financement ACM - Preparatory, accompanying and support measures Coordinateur GEMETEC GESELLSCHAFT FUER MESSTECHNIK UND TECHNOLOGIE MBH Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse GERETSRIEDER STRASSE 81379 MUENCHEN Allemagne Voir sur la carte Coût total Aucune donnée Participants (2) Trier par ordre alphabétique Trier par contribution de l’UE Tout développer Tout réduire INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW Belgique Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse KAPELDREEF 75 3001 LEUVEN Voir sur la carte Coût total Aucune donnée STMICROELECTRONICS SA France Contribution de l’UE Aucune donnée Adresse 29 BOULEVARD ROMAIN ROLLAND 92120 MONTROUGE Voir sur la carte Coût total Aucune donnée
