Ziel
The project addresses the proof of an equipment concept suitable of producing ferroelectric layers based on chemical vapor deposition. This concept will be verified using an existing MOCVD reactor which is intended to be upgraded as a production tool for ferroelectric devices on 200mm silicon wafers. The project includes the development of optimised materials and processes to be used in the manufacturing of the new, promising FeRAM devices which are expected to serve as a "Universal RAM" since it combines high speed and non-volatility. Moreover, the processes used are designed for cost-effective implementation since they are compatible with existing mainstream silicon technology.
OBJECTIVES
Ferroelectrics are very promising materials for a wide range of microelectronic applications. They can be used as the dielectric layers in universal memory devices (FeRAMs) combining the advantages of the fast but volatile dynamic memories (DRAMs) and non-volatile memories (e.g. EEPROMs). They also simplify the integration of capacitances in high-volume logic devices like telecom devices or chipcards. Alltogether, it is a market of billions of devices in applications for everyone. The project objective is to provide competitive materials, processes, and tools compatible with the specifications of the 0.18?m technology and beyond. The envisaged process sequence will provide improved device performances and will enable simplified devices and printed circuit board architectures.
DESCRIPTION OF WORK
The layer properties, process, and the performance of the equipment will be specified based on the inputs from the "users" in the consortium. Focus will be put on the quality of the layers as well as on the durability. The equipment specifications will continuously be assessed with respect to the competitive situation. A MOCVD reactor available at the research institute will be equipped with a new vaporising unit for the liquid precursor materials. This TriJet (TM) vaporiser is used for the first time in 200mm silicon technology. It promises very good run-to-run reproducibility and a long-time stability. The control software of the deposition reactor has to be modified to integrate the new vaporiser unit in the control system and give an easy access to all hardware components for the deposition process. This modification will also improve the throughput of the module. Ferroelectric layers will be deposited on silicon substrates with different interface layers to optimise the deposition process with respect to the target specifications. Simple test devices will be prepared to demonstrate the basic functions and the compatibility with the required pre-processing and post-processing steps. Advanced layer and device characterisation tools are available for comprehensive assessment.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Naturwissenschaften Informatik und Informationswissenschaften Software
- Technik und Technologie Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik Elektrotechnik Steuerungssysteme
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
80686 MUENCHEN
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.