Cel
The project addresses the proof of an equipment concept suitable of producing ferroelectric layers based on chemical vapor deposition. This concept will be verified using an existing MOCVD reactor which is intended to be upgraded as a production tool for ferroelectric devices on 200mm silicon wafers. The project includes the development of optimised materials and processes to be used in the manufacturing of the new, promising FeRAM devices which are expected to serve as a "Universal RAM" since it combines high speed and non-volatility. Moreover, the processes used are designed for cost-effective implementation since they are compatible with existing mainstream silicon technology.
OBJECTIVES
Ferroelectrics are very promising materials for a wide range of microelectronic applications. They can be used as the dielectric layers in universal memory devices (FeRAMs) combining the advantages of the fast but volatile dynamic memories (DRAMs) and non-volatile memories (e.g. EEPROMs). They also simplify the integration of capacitances in high-volume logic devices like telecom devices or chipcards. Alltogether, it is a market of billions of devices in applications for everyone. The project objective is to provide competitive materials, processes, and tools compatible with the specifications of the 0.18?m technology and beyond. The envisaged process sequence will provide improved device performances and will enable simplified devices and printed circuit board architectures.
DESCRIPTION OF WORK
The layer properties, process, and the performance of the equipment will be specified based on the inputs from the "users" in the consortium. Focus will be put on the quality of the layers as well as on the durability. The equipment specifications will continuously be assessed with respect to the competitive situation. A MOCVD reactor available at the research institute will be equipped with a new vaporising unit for the liquid precursor materials. This TriJet (TM) vaporiser is used for the first time in 200mm silicon technology. It promises very good run-to-run reproducibility and a long-time stability. The control software of the deposition reactor has to be modified to integrate the new vaporiser unit in the control system and give an easy access to all hardware components for the deposition process. This modification will also improve the throughput of the module. Ferroelectric layers will be deposited on silicon substrates with different interface layers to optimise the deposition process with respect to the target specifications. Simple test devices will be prepared to demonstrate the basic functions and the compatibility with the required pre-processing and post-processing steps. Advanced layer and device characterisation tools are available for comprehensive assessment.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze informatyka oprogramowanie
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna automatyka i systemy sterowania
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metaloidy
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
80686 MUENCHEN
Niemcy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.