Objetivo
MACROS addresses the modelling and simulation methodology of MEMS, in order to accurately verify the performance and characterise the impact of faults and defects, by extending existing component models and developing an efficient analytical modelling methodology. The technical results from this project will be verified and demonstrated on both a TANG oscillator and a microactuator for hard disk drive applications. These commercial applications will support the exploitation of results into better design and manufacturing validation procedures for MEMS customers. The modelling methodology will be demonstrated through an enhanced commercial VHDL-AMS simulation environment, prototype Cosserat simulator, and model generation methodology. Exploitation within MACROS will be aimed at MEMS modelling and services and at the dissemination through international conferences and academic courses.
OBJECTIVES
Efficient design and manufacture of MEMS products is still restricted due to difficulties in establishing a modelling and simulation methodology that can accurately verify performance over the full specification space, characterise the impact of both potential faults and defects within the manufacturing process and predict the effect of external environmental parameters such as thermal stress.
MACROS will address these problems through:
- extension of existing MEMS component models to include critical package induced stress, damping mechanisms, pre-stress and failure modes,
- development of an efficient analytical modelling and simulation environment through the use of Cosseratt theory to support component level model generation,
- integration of the resulting methodology into a VHDL-AMS simulation environment.
DESCRIPTION OF WORK
MACROS will be carried out by three partners, two industrial companies and one academic organisation: Dolphin Integration, ST Microelectronics and Lancaster University. Each partner brings to the Consortium the necessary and sufficient expertise and knowledge to achieve the objectives of the project.
The main steps of the MACROS project are:
- Integration of critical second order behaviour into BOTH finite element and COSSERAT simulation environments,
- Optimisation of MEMS component modelling techniques within a VHDL-AMS environment with an emphasis on inclusion of failure modes, degradation mechanisms, packaging influences and device characteristics generated from low level simulation,
- Design and fabrication of test structures needed to generate critical material and design related parameters and verify performance of models,
- Design and fabrication of demonstrators with, where possible, versions with artificially induced non-idealities and defects,
- Optimisation of the VHDL-AMS environment to efficiently simulate the models in closed loop,
- Implementation of a hierarchical modelling methodology through a component level modelling interface to the VHDL-AMS simulation tools
- Exploitation of the models and modelling methodology by Dolphin Integration through the inclusion in its MEMS modelling library and services,
- Exploitation of the optimized VHDL-AMS environment by Dolphin Integration through its ASIC and MEMS markets,
- Exploitation by STMicroelectronics through its MEMS development activities,
- Dissemination of results through academic courses and international conferences.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería mecánica ingeniería de fabricación
- ciencias naturales ciencias biológicas zoología mamalogía cetología
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software software de aplicación software de simulación
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
38240 MEYLAN
Francia
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.