Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-05-27

Modelling And Characterisation for Reliability Of Silicon MEMS

Cel

MACROS addresses the modelling and simulation methodology of MEMS, in order to accurately verify the performance and characterise the impact of faults and defects, by extending existing component models and developing an efficient analytical modelling methodology. The technical results from this project will be verified and demonstrated on both a TANG oscillator and a microactuator for hard disk drive applications. These commercial applications will support the exploitation of results into better design and manufacturing validation procedures for MEMS customers. The modelling methodology will be demonstrated through an enhanced commercial VHDL-AMS simulation environment, prototype Cosserat simulator, and model generation methodology. Exploitation within MACROS will be aimed at MEMS modelling and services and at the dissemination through international conferences and academic courses.

OBJECTIVES
Efficient design and manufacture of MEMS products is still restricted due to difficulties in establishing a modelling and simulation methodology that can accurately verify performance over the full specification space, characterise the impact of both potential faults and defects within the manufacturing process and predict the effect of external environmental parameters such as thermal stress.

MACROS will address these problems through:
- extension of existing MEMS component models to include critical package induced stress, damping mechanisms, pre-stress and failure modes,
- development of an efficient analytical modelling and simulation environment through the use of Cosseratt theory to support component level model generation,
- integration of the resulting methodology into a VHDL-AMS simulation environment.

DESCRIPTION OF WORK
MACROS will be carried out by three partners, two industrial companies and one academic organisation: Dolphin Integration, ST Microelectronics and Lancaster University. Each partner brings to the Consortium the necessary and sufficient expertise and knowledge to achieve the objectives of the project.
The main steps of the MACROS project are:
- Integration of critical second order behaviour into BOTH finite element and COSSERAT simulation environments,
- Optimisation of MEMS component modelling techniques within a VHDL-AMS environment with an emphasis on inclusion of failure modes, degradation mechanisms, packaging influences and device characteristics generated from low level simulation,
- Design and fabrication of test structures needed to generate critical material and design related parameters and verify performance of models,
- Design and fabrication of demonstrators with, where possible, versions with artificially induced non-idealities and defects,
- Optimisation of the VHDL-AMS environment to efficiently simulate the models in closed loop,
- Implementation of a hierarchical modelling methodology through a component level modelling interface to the VHDL-AMS simulation tools
- Exploitation of the models and modelling methodology by Dolphin Integration through the inclusion in its MEMS modelling library and services,
- Exploitation of the optimized VHDL-AMS environment by Dolphin Integration through its ASIC and MEMS markets,
- Exploitation by STMicroelectronics through its MEMS development activities,
- Dissemination of results through academic courses and international conferences.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Brak dostępnych danych

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

Brak dostępnych danych

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordynator

DOLPHIN INTEGRATION
Wkład UE
Brak danych
Adres
AVENUE DU GRANIER 39
38240 MEYLAN
Francja

Zobacz na mapie

Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Uczestnicy (2)

Moja broszura 0 0