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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-05-27

Modelling And Characterisation for Reliability Of Silicon MEMS

Ziel

MACROS addresses the modelling and simulation methodology of MEMS, in order to accurately verify the performance and characterise the impact of faults and defects, by extending existing component models and developing an efficient analytical modelling methodology. The technical results from this project will be verified and demonstrated on both a TANG oscillator and a microactuator for hard disk drive applications. These commercial applications will support the exploitation of results into better design and manufacturing validation procedures for MEMS customers. The modelling methodology will be demonstrated through an enhanced commercial VHDL-AMS simulation environment, prototype Cosserat simulator, and model generation methodology. Exploitation within MACROS will be aimed at MEMS modelling and services and at the dissemination through international conferences and academic courses.

OBJECTIVES
Efficient design and manufacture of MEMS products is still restricted due to difficulties in establishing a modelling and simulation methodology that can accurately verify performance over the full specification space, characterise the impact of both potential faults and defects within the manufacturing process and predict the effect of external environmental parameters such as thermal stress.

MACROS will address these problems through:
- extension of existing MEMS component models to include critical package induced stress, damping mechanisms, pre-stress and failure modes,
- development of an efficient analytical modelling and simulation environment through the use of Cosseratt theory to support component level model generation,
- integration of the resulting methodology into a VHDL-AMS simulation environment.

DESCRIPTION OF WORK
MACROS will be carried out by three partners, two industrial companies and one academic organisation: Dolphin Integration, ST Microelectronics and Lancaster University. Each partner brings to the Consortium the necessary and sufficient expertise and knowledge to achieve the objectives of the project.
The main steps of the MACROS project are:
- Integration of critical second order behaviour into BOTH finite element and COSSERAT simulation environments,
- Optimisation of MEMS component modelling techniques within a VHDL-AMS environment with an emphasis on inclusion of failure modes, degradation mechanisms, packaging influences and device characteristics generated from low level simulation,
- Design and fabrication of test structures needed to generate critical material and design related parameters and verify performance of models,
- Design and fabrication of demonstrators with, where possible, versions with artificially induced non-idealities and defects,
- Optimisation of the VHDL-AMS environment to efficiently simulate the models in closed loop,
- Implementation of a hierarchical modelling methodology through a component level modelling interface to the VHDL-AMS simulation tools
- Exploitation of the models and modelling methodology by Dolphin Integration through the inclusion in its MEMS modelling library and services,
- Exploitation of the optimized VHDL-AMS environment by Dolphin Integration through its ASIC and MEMS markets,
- Exploitation by STMicroelectronics through its MEMS development activities,
- Dissemination of results through academic courses and international conferences.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

DOLPHIN INTEGRATION
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
AVENUE DU GRANIER 39
38240 MEYLAN
Frankreich

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (2)

Mein Booklet 0 0