Obiettivo
MACROS addresses the modelling and simulation methodology of MEMS, in order to accurately verify the performance and characterise the impact of faults and defects, by extending existing component models and developing an efficient analytical modelling methodology. The technical results from this project will be verified and demonstrated on both a TANG oscillator and a microactuator for hard disk drive applications. These commercial applications will support the exploitation of results into better design and manufacturing validation procedures for MEMS customers. The modelling methodology will be demonstrated through an enhanced commercial VHDL-AMS simulation environment, prototype Cosserat simulator, and model generation methodology. Exploitation within MACROS will be aimed at MEMS modelling and services and at the dissemination through international conferences and academic courses.
OBJECTIVES
Efficient design and manufacture of MEMS products is still restricted due to difficulties in establishing a modelling and simulation methodology that can accurately verify performance over the full specification space, characterise the impact of both potential faults and defects within the manufacturing process and predict the effect of external environmental parameters such as thermal stress.
MACROS will address these problems through:
- extension of existing MEMS component models to include critical package induced stress, damping mechanisms, pre-stress and failure modes,
- development of an efficient analytical modelling and simulation environment through the use of Cosseratt theory to support component level model generation,
- integration of the resulting methodology into a VHDL-AMS simulation environment.
DESCRIPTION OF WORK
MACROS will be carried out by three partners, two industrial companies and one academic organisation: Dolphin Integration, ST Microelectronics and Lancaster University. Each partner brings to the Consortium the necessary and sufficient expertise and knowledge to achieve the objectives of the project.
The main steps of the MACROS project are:
- Integration of critical second order behaviour into BOTH finite element and COSSERAT simulation environments,
- Optimisation of MEMS component modelling techniques within a VHDL-AMS environment with an emphasis on inclusion of failure modes, degradation mechanisms, packaging influences and device characteristics generated from low level simulation,
- Design and fabrication of test structures needed to generate critical material and design related parameters and verify performance of models,
- Design and fabrication of demonstrators with, where possible, versions with artificially induced non-idealities and defects,
- Optimisation of the VHDL-AMS environment to efficiently simulate the models in closed loop,
- Implementation of a hierarchical modelling methodology through a component level modelling interface to the VHDL-AMS simulation tools
- Exploitation of the models and modelling methodology by Dolphin Integration through the inclusion in its MEMS modelling library and services,
- Exploitation of the optimized VHDL-AMS environment by Dolphin Integration through its ASIC and MEMS markets,
- Exploitation by STMicroelectronics through its MEMS development activities,
- Dissemination of results through academic courses and international conferences.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria meccanica ingegnerizzazione dei prodotti
- scienze naturali scienze biologiche zoologia mammologia cetologia
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica microelettronica
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione software software applicativi software di simulazione
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
38240 MEYLAN
Francia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.