Objectif
MACROS addresses the modelling and simulation methodology of MEMS, in order to accurately verify the performance and characterise the impact of faults and defects, by extending existing component models and developing an efficient analytical modelling methodology. The technical results from this project will be verified and demonstrated on both a TANG oscillator and a microactuator for hard disk drive applications. These commercial applications will support the exploitation of results into better design and manufacturing validation procedures for MEMS customers. The modelling methodology will be demonstrated through an enhanced commercial VHDL-AMS simulation environment, prototype Cosserat simulator, and model generation methodology. Exploitation within MACROS will be aimed at MEMS modelling and services and at the dissemination through international conferences and academic courses.
OBJECTIVES
Efficient design and manufacture of MEMS products is still restricted due to difficulties in establishing a modelling and simulation methodology that can accurately verify performance over the full specification space, characterise the impact of both potential faults and defects within the manufacturing process and predict the effect of external environmental parameters such as thermal stress.
MACROS will address these problems through:
- extension of existing MEMS component models to include critical package induced stress, damping mechanisms, pre-stress and failure modes,
- development of an efficient analytical modelling and simulation environment through the use of Cosseratt theory to support component level model generation,
- integration of the resulting methodology into a VHDL-AMS simulation environment.
DESCRIPTION OF WORK
MACROS will be carried out by three partners, two industrial companies and one academic organisation: Dolphin Integration, ST Microelectronics and Lancaster University. Each partner brings to the Consortium the necessary and sufficient expertise and knowledge to achieve the objectives of the project.
The main steps of the MACROS project are:
- Integration of critical second order behaviour into BOTH finite element and COSSERAT simulation environments,
- Optimisation of MEMS component modelling techniques within a VHDL-AMS environment with an emphasis on inclusion of failure modes, degradation mechanisms, packaging influences and device characteristics generated from low level simulation,
- Design and fabrication of test structures needed to generate critical material and design related parameters and verify performance of models,
- Design and fabrication of demonstrators with, where possible, versions with artificially induced non-idealities and defects,
- Optimisation of the VHDL-AMS environment to efficiently simulate the models in closed loop,
- Implementation of a hierarchical modelling methodology through a component level modelling interface to the VHDL-AMS simulation tools
- Exploitation of the models and modelling methodology by Dolphin Integration through the inclusion in its MEMS modelling library and services,
- Exploitation of the optimized VHDL-AMS environment by Dolphin Integration through its ASIC and MEMS markets,
- Exploitation by STMicroelectronics through its MEMS development activities,
- Dissemination of results through academic courses and international conferences.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- ingénierie et technologie génie mécanique ingénierie de fabrication
- sciences naturelles sciences biologiques zoologie mammalogie cétologie
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
- sciences naturelles informatique et science de l'information logiciel logiciel d’application logiciel de simulation
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
38240 MEYLAN
France
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.