Objetivo
Reducing resource consumption and waste production are essential to allowing future growth of the semiconductor industry.
Wolfram (WF6) is a product used as source gas in W-CVD (Chemical Vapour Deposition) processing, an important step in the processing of submicron CMOS circuits. At least 50 % of this gas ends up unused in exhaust. Until now, destructive abatement techniques, based on incineration of the waste gas stream with or without subsequent water spray, have been implemented to avoid emitting this gas into the atmosphere. No effort has yet been done to develop a recycling system to recover the excess of WF6.
The project's objective is to demonstrate a new, on line, cost effective method for the reduction of the waste gas stream to air escaping from CVD process equipment used in semiconductormanufacturing. This is to be done by means of a recovery technique (dry plasma scrubsper) of the valuable Tungsten out of W-CVD processing, where WF6 is used as a source gas.The project will also include the construction of a Cost of Ownership model of the demonstrated recovery technique that will be compared to the models of the classical abatement techniques.
The expected impact of the project is to provide the European semiconductor industry with a cost-effective tool for the treatment of the waste gas of a W-CVD processing tool. If this system shows to be technically viable, it will result in a more efficient usage of raw materials and at the same time reduce the impact of WF6 on the environment, especially in view of the expected strong increase in IC production volumes. An additional advantage is the high market value of the recycled Tungsten : for a medium-sized wafer fabrication the 'yield' theoretically amounts to 50 000 Ecu per week.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
Este proyecto aún no se ha clasificado con EuroSciVoc.
Sugiera los ámbitos científicos que considere más relevantes y ayúdenos a mejorar nuestro servicio de clasificación.
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
3001 LEUVEN
Bélgica
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.