Obiettivo
Reducing resource consumption and waste production are essential to allowing future growth of the semiconductor industry.
Wolfram (WF6) is a product used as source gas in W-CVD (Chemical Vapour Deposition) processing, an important step in the processing of submicron CMOS circuits. At least 50 % of this gas ends up unused in exhaust. Until now, destructive abatement techniques, based on incineration of the waste gas stream with or without subsequent water spray, have been implemented to avoid emitting this gas into the atmosphere. No effort has yet been done to develop a recycling system to recover the excess of WF6.
The project's objective is to demonstrate a new, on line, cost effective method for the reduction of the waste gas stream to air escaping from CVD process equipment used in semiconductormanufacturing. This is to be done by means of a recovery technique (dry plasma scrubsper) of the valuable Tungsten out of W-CVD processing, where WF6 is used as a source gas.The project will also include the construction of a Cost of Ownership model of the demonstrated recovery technique that will be compared to the models of the classical abatement techniques.
The expected impact of the project is to provide the European semiconductor industry with a cost-effective tool for the treatment of the waste gas of a W-CVD processing tool. If this system shows to be technically viable, it will result in a more efficient usage of raw materials and at the same time reduce the impact of WF6 on the environment, especially in view of the expected strong increase in IC production volumes. An additional advantage is the high market value of the recycled Tungsten : for a medium-sized wafer fabrication the 'yield' theoretically amounts to 50 000 Ecu per week.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
3001 LEUVEN
Belgio
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.