Cel
Reducing resource consumption and waste production are essential to allowing future growth of the semiconductor industry.
Wolfram (WF6) is a product used as source gas in W-CVD (Chemical Vapour Deposition) processing, an important step in the processing of submicron CMOS circuits. At least 50 % of this gas ends up unused in exhaust. Until now, destructive abatement techniques, based on incineration of the waste gas stream with or without subsequent water spray, have been implemented to avoid emitting this gas into the atmosphere. No effort has yet been done to develop a recycling system to recover the excess of WF6.
The project's objective is to demonstrate a new, on line, cost effective method for the reduction of the waste gas stream to air escaping from CVD process equipment used in semiconductormanufacturing. This is to be done by means of a recovery technique (dry plasma scrubsper) of the valuable Tungsten out of W-CVD processing, where WF6 is used as a source gas.The project will also include the construction of a Cost of Ownership model of the demonstrated recovery technique that will be compared to the models of the classical abatement techniques.
The expected impact of the project is to provide the European semiconductor industry with a cost-effective tool for the treatment of the waste gas of a W-CVD processing tool. If this system shows to be technically viable, it will result in a more efficient usage of raw materials and at the same time reduce the impact of WF6 on the environment, especially in view of the expected strong increase in IC production volumes. An additional advantage is the high market value of the recycled Tungsten : for a medium-sized wafer fabrication the 'yield' theoretically amounts to 50 000 Ecu per week.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Projekt nie został jeszcze sklasyfikowany według klasyfikacji EuroSciVoc.
Wskaż dziedziny nauki, które twoim zdaniem są najbardziej istotne z punktu widzenia tego projektu i pomóż nam usprawnić naszą usługę klasyfikacji.
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Brak dostępnych danych
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
3001 LEUVEN
Belgia
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.