Objectif
Reducing resource consumption and waste production are essential to allowing future growth of the semiconductor industry.
Wolfram (WF6) is a product used as source gas in W-CVD (Chemical Vapour Deposition) processing, an important step in the processing of submicron CMOS circuits. At least 50 % of this gas ends up unused in exhaust. Until now, destructive abatement techniques, based on incineration of the waste gas stream with or without subsequent water spray, have been implemented to avoid emitting this gas into the atmosphere. No effort has yet been done to develop a recycling system to recover the excess of WF6.
The project's objective is to demonstrate a new, on line, cost effective method for the reduction of the waste gas stream to air escaping from CVD process equipment used in semiconductormanufacturing. This is to be done by means of a recovery technique (dry plasma scrubsper) of the valuable Tungsten out of W-CVD processing, where WF6 is used as a source gas.The project will also include the construction of a Cost of Ownership model of the demonstrated recovery technique that will be compared to the models of the classical abatement techniques.
The expected impact of the project is to provide the European semiconductor industry with a cost-effective tool for the treatment of the waste gas of a W-CVD processing tool. If this system shows to be technically viable, it will result in a more efficient usage of raw materials and at the same time reduce the impact of WF6 on the environment, especially in view of the expected strong increase in IC production volumes. An additional advantage is the high market value of the recycled Tungsten : for a medium-sized wafer fabrication the 'yield' theoretically amounts to 50 000 Ecu per week.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
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Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
3001 LEUVEN
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.