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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-16

STM methods for roughness and micro hardness measurements

Ziel



Vickers micro hardness measurements according to ISO standards are used extensively as a testing method in microelectronics fabrication and thin layer technology using indentations with diagonal lengths shorter than 2 um. Currently the primary measurement standards are based on optical methods and have an intrinsic uncertainty of about 0.5 um. The objective of this project is to apply the scanning tunnelling microscope (STM) technique to produce a new more precise method for the measurement of roughness in the range 1 nm < Ra < 0.5 um and the determination of micro-hardness.
The project, in which advanced image processing algorithms will also be developed to improve the quality of the indentation image, is expected to lead to the construction of an operating two stage prototype instruments and the associated software. This prototype will be tested individually by each partner. Comparison measurements will be undertaken to link the STM measurements to the conventional ones, to investigate whether the existing written standards can be transferred to the STM technique or new ones have to be considered.

Status:
The work is in progress.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSC - Cost-sharing contracts

Koordinator

Danish Institute of Fundamental Metrology
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse


Dänemark

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (4)

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