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CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
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Contenuto archiviato il 2024-04-16

STM methods for roughness and micro hardness measurements

Obiettivo



Vickers micro hardness measurements according to ISO standards are used extensively as a testing method in microelectronics fabrication and thin layer technology using indentations with diagonal lengths shorter than 2 um. Currently the primary measurement standards are based on optical methods and have an intrinsic uncertainty of about 0.5 um. The objective of this project is to apply the scanning tunnelling microscope (STM) technique to produce a new more precise method for the measurement of roughness in the range 1 nm < Ra < 0.5 um and the determination of micro-hardness.
The project, in which advanced image processing algorithms will also be developed to improve the quality of the indentation image, is expected to lead to the construction of an operating two stage prototype instruments and the associated software. This prototype will be tested individually by each partner. Comparison measurements will be undertaken to link the STM measurements to the conventional ones, to investigate whether the existing written standards can be transferred to the STM technique or new ones have to be considered.

Status:
The work is in progress.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Dati non disponibili

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

Dati non disponibili

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinatore

Danish Institute of Fundamental Metrology
Contributo UE
Nessun dato
Indirizzo


Danimarca

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Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato

Partecipanti (4)

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