Beschichtungen für alle Anwendungen
In vielen Industriezweigen werden Produkte hergestellt, deren eigentlicher Werkstoff mit anderen Stoffen beschichtet ist. Die angewandte Beschichtungstechnik verändert die Eigenschaften des Trägerwerkstoffs so, dass dessen Hauptverhalten intakt bleibt, während bestimmte Eigenschaften verbessert werden. Dünne Filme von Beschichtungsmaterialien werden mit Dicken in der Größenordnung Mikron auf Trägermaterialien aufgebracht, was deren Eigenschaften - beispielsweise Härte, Reibung, Wärmeschutz oder Korrosionsbeständigkeit - verbessert. Ziel des Projekts ISOTECH war die Entwicklung und Optimierung von Beschichtungen für unterschiedliche Anwendungen. Um dieses Ziel zu erreichen, wurde ein aus einer Aufdampf- und einer Steuerungseinheit bestehendes System entwickelt. Bei der Aufdampfeinheit kommt die unsymmetrische Closed-Film-Magnetron-Sputteringtechnik zur Anwendung, während die In-situ-Steuerung mit einer schnellen Low-cost-Spektralellipsometrie-Einheit bewerkstelligt wurde. Der Vorteil des Systems besteht darin, dass es die Eigenschaften von Beschichtungen optimiert, indem es kontinuierlich die Stöchiometrie, Zusammensetzung, Mikrostruktur und Dicke des sich ablagernden Filmes über den gesamten Aufdampfprozess hinweg überwacht. Erprobt wurde das System hauptsächlich mit Beschichtungen von Rasierklingen sowie an Halterungen und Versiegelungen von Oszillatorquarzen. Dabei zeigte sich, dass sich mit diesem System optimale Beschichtungseigenschaften bei größtmöglicher Reproduzierbarkeit eruielen lassen. Die Dünnfilmtechnologie hat sich inzwischen zu einem Schwerpunktgebiet der weltweiten Forschung entwickelt. Die Explosion an Innovationen auf Gebieten wie der Mikroelektronik, der Optik, der Nanotechnologie sowie der Luft- und Raumfahrttechnik geht mit den Technologien der Dünnfilmverarbeitung Hand in Hand. Vor diesem Hintergrund ist das entwickelte Beschichtungssystem der Beweis für den weiteren Erfolg in der Anwendung verbesserter Dünnfilmverarbeitungs-Technologien.
