Ziel
"The program MEMS MATURITY has four goals:
1/ To miniaturize the high performance gyro cell, Gyrix, of the SFWA (Smart Fixed Wings Aircraft) partner
2/ To identify the critical paramaters of the process that influence the cell performance
3/ To assess the impact of the variability of the critical parameters on the cell performance
4/ To optimize the process for a repeatable manufacturing and to deliver 20 optimized Gyro cells to evaluate their performances in the sensor operational environment together with the SFWA partner.
To reach these goals, TRONICS will use and improve the best state-of-the-art technology for high-performance low-drift inertial sensors. Its main features are:
• Mechanical structures achieved in thick (> 60 µm) single crystal material, starting from thick SOI substrate.
• Mechanical structures etched, in the top thick SOI layer, using a notch-free, highly-vertical, accurate (<0.2 µm accuracy) Deep Reactive Ion Etching (DRIE) process, thanks to the latest generation of DRIE processes.
• Wafer level packaging of the MEMS structure with a silicon cap, bonded through Silicon Direct Bonding, Si-Si or Si-SiO2-Si, avoiding any intermediate heterogeneous material such as a metal sealing.
• Stable high-vacuum environment ensured thanks to long-term-stable high-vacuum (<10-3 mbar) ceramic package, including getter technology that maintain performance over the product lifetime (lifetime > 20 years).
• Die-attach of the MEMS chip in the package with non-degasing metallic alloy preform, and stress decoupling structures.
TRONICS has defined a complete work plan to adress the main goals of the program. The overall final objective of this program is also to develop an industial manufacturing environement for the Gyrix cell object of this program. This environement should meet the performances needed for civil aeronautic applications.
Durring this program, TRONICS will also improve the maturity of the Gyrix cell to bring it to a TRL5 level."
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Maschinenbau Fahrzeugbau Luft- und Raumfahrttechnik Flugzeug
- Technik und Technologie Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik Elektrotechnik Sensoren
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
SP1-JTI-CS-2012-01
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
38920 CROLLES
Frankreich
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.