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Nanoresonators with Integrated circuitry for high sensitivity and high resolution mass detection

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Avanza la investigación sobre biosensores

En el seno del proyecto NANOMASS se creó un nuevo sistema de mediciones para la caracterización de dispositivos sensores en miniatura.

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El principal foco de atención del proyecto NANOMASS era combinar tecnología CMOS (semiconductor complementario de óxido de metal) con procesos nanotecnológicos innovadores. Valiéndose de métodos novedosos de nanolitografía se creó una tecnología innovadora que se fundamenta en una serie de palancas de silicio de escala nanométrica. Los investigadores se propusieron crear sensores de masa mecánicos ultrasensibles y extremadamente compactos para aplicaciones químicas y medioambientales y bioaplicaciones. Una vez creados los prototipos, se sometieron a una evaluación funcional en una cámara de ambiente controlado. Se instaló un sistema de medición que permite la caracterización de dispositivos MEMS/NEMS (sistemas micro/nanoelectromecánicos). Concretamente, la cámara de gas permite controlar la presión y la temperatura en una amplia gama, así como las condiciones del estado y la composición del gas. Las características del sistema permiten funcionalizar dispositivos frágiles como los NEMS y caracterizar de forma fiable aplicaciones con biosensores extremadamente complejas. Este sistema se empleó para realizar varias pruebas de funcionalidad a fin de demostrar el rendimiento de cada una de las palancas fabricadas. Por medio de las pruebas se determinó la estabilidad de los sensores de masa de las palancas en condiciones de funcionamiento con aire y al vacío. La sensibilidad de masa mínima que se demostró fue del orden de un attogramo, es decir, 10[-18] gramos. El creciente interés expresado por la comunidad de la bioinvestigación hace más fácil la comercialización de este sistema. Para obtener más información sobre el proyecto, consulte: http://einstein.uab.es/_c_nanomass/

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