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Nanoresonators with Integrated circuitry for high sensitivity and high resolution mass detection

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Progrès en matière de recherche sur les biocapteurs

Dans le cadre du projet NANOMASS, un nouveau système de mesure a été mis au point pour caractériser les capteurs miniaturisés.

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Le projet NANOMASS a surtout porté sur la combinaison d'une technologie CMOS (pour Complementary Metal Oxide Semiconductor, ou semi-conducteur métal-oxyde complémentaire) et de processus et techniques innovants en matière de nanotechnologie. Exploitant de nouvelles méthodes de nanolithographie, une technologie innovante a été mise au point sur la base d'un ensemble de cantilevers au silicium à l'échelle nanométrique. Les chercheurs se sont efforcés de mettre au point des capteurs de masse mécaniques extrêmement compacts et ultra sensibles pour les applications biologiques, chimiques et environnementales. Une fois développés, les prototypes ont été soumis à des tests d'évaluation fonctionnelle dans une chambre à ambiance contrôlée. Une configuration de mesure a été créée afin de permettre la caractérisation des systèmes micro- et nano-électromécaniques (MEMS/NEMS). La chambre à gaz spécifique opère dans une large plage de pressions et de températures, ainsi que pour différentes compositions de gaz et conditions d'état. Les fonctions du système permettent la fonctionnalisation des dispositifs fragiles, comme les NEMS, ainsi qu'une caractérisation fiable des applications de biocapteurs extrêmement complexes. Le système a été utilisé pour effectuer différents tests de fonctionnalité afin de démontrer les performances de chacun des cantilevers fabriqués. Les tests ont par conséquent permis de déterminer la stabilité des capteurs de masse à cantilevers dans différentes conditions de fonctionnement (présence ou absence totale d'air). La plus petite sensibilité de masse mise en évidence était de l'ordre d'un attogramme, soit 10[-18] grammes. L'intérêt grandissant manifesté par la communauté des chercheurs en biologie laisse augurer d'une prochaine commercialisation du système. Pour en savoir plus sur ce projet, consulter: http://einstein.uab.es/_c_nanomass/

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