Skip to main content
European Commission logo print header

Nanoresonators with Integrated circuitry for high sensitivity and high resolution mass detection

Article Category

Article available in the following languages:

Postęp w badaniach nad bioczujnikami

Pod auspicjami projektu NANOMASS zrealizowano nowy system pomiarowy służący do badania cech miniaturowych urządzeń czujnikowych.

Gospodarka cyfrowa icon Gospodarka cyfrowa

W projekcie NANOMASS skupiono się przede wszystkim na łącznym wykorzystaniu technologii CMOS oraz innowacyjnych nanotechnologicznych procesów i technik. Zastosowano nowatorskie metody nanolitografii, tworząc innowacyjną technologię opartą na macierzy krzemowych wsporników w skali nanometrycznej. Celem badaczy było wykonanie wyjątkowo kompaktowych i ultraczułych mechanicznych czujników masy do zastosowań w dziedzinie biochemii i środowiska naturalnego. Gdy stworzono prototypy, sprawdzono ich działanie za pomocą testów w komorze o kontrolowanym środowisku. Zbudowano układ pomiarowy umożliwiający badanie cech urządzeń o charakterze mikro- i nanoelektromechanicznych. Specjalna komora gazowa działa w szerokim zakresie ustawień ciśnienia i temperatury, a także przy różnym składzie gazu i w różnych warunkach. Cechy systemu umożliwiają funkcjonalizację wrażliwych urządzeń, takich jak NEMS, oraz uzyskanie wiarygodnej charakterystyki wysoce złożonych układów bioczujnikowych. Przy użyciu tej instalacji przeprowadzono kilka testów w celu ustalenia, jak każdy z wytworzonych wsporników sprawdza się w działaniu. Testy te wykazały stabilność wspornikowych czujników masy w obecności powietrza i w próżni. Najmniejsza wykryta masa była rzędu attograma, czyli 10[-18] grama. Rosnące zainteresowanie ze strony branży biotechnicznej pozwala wierzyć w szybką komercjalizację systemu. Więcej informacji na temat projektu znajduje się na stronie internetowej: http://einstein.uab.es/_c_nanomass/

Znajdź inne artykuły w tej samej dziedzinie zastosowania