Objetivo
Beyond the 65 nm half pitch node in semiconductor manufacture, advanced resolution-enhancement techniques will be mandatory in optical lithography. Mask-less pattern transfer technologies will emerge as alternatives under certain combinations of process conditions. Both approaches will introduce additional challenges to overlay metrology and require solutions beyond those currently in use. Today, overlay metrology is based on structures, which relate the relative placement of one layer to a previous one in the manufactured device.
These structures are becoming a limiting factor. Critical challenges are confronted:
- inability to compensate for the impact of across field scanner aberration variations on device overlay, enhanced by off-axis illumination techniques
- inability to accurately represent overlay errors associated with device structures, manufactured by sub wavelength lithography processes such as optical proximity corrections and phase shift masks.
As mask-less solutions begin to play a role, overlay issues will be critical. Many measurements will be required for overlay control. SEM metrology does not have the throughput and versatility to meet production needs. Optical metrology will remain the best contender. Solution is required which enables denser overlay metrology sampling within the active area of the die. The aim of the proposed project is to perform research and investigate solutions, which will lead to the development of new metrology applications that will enable overlay to be accurately measured in the face of the above-defined challenges.
The technology developed, will enable overlay control beyond the 65 nm node. In addition, the solution to the first challenge will be further validated in an end user environment, thus providing a field tested application that can be implemented in fabs throughout Europe, providing the later with a significant competitive edge entering the new era of semi-conductor manufacturing.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.