Cel
Beyond the 65 nm half pitch node in semiconductor manufacture, advanced resolution-enhancement techniques will be mandatory in optical lithography. Mask-less pattern transfer technologies will emerge as alternatives under certain combinations of process conditions. Both approaches will introduce additional challenges to overlay metrology and require solutions beyond those currently in use. Today, overlay metrology is based on structures, which relate the relative placement of one layer to a previous one in the manufactured device.
These structures are becoming a limiting factor. Critical challenges are confronted:
- inability to compensate for the impact of across field scanner aberration variations on device overlay, enhanced by off-axis illumination techniques
- inability to accurately represent overlay errors associated with device structures, manufactured by sub wavelength lithography processes such as optical proximity corrections and phase shift masks.
As mask-less solutions begin to play a role, overlay issues will be critical. Many measurements will be required for overlay control. SEM metrology does not have the throughput and versatility to meet production needs. Optical metrology will remain the best contender. Solution is required which enables denser overlay metrology sampling within the active area of the die. The aim of the proposed project is to perform research and investigate solutions, which will lead to the development of new metrology applications that will enable overlay to be accurately measured in the face of the above-defined challenges.
The technology developed, will enable overlay control beyond the 65 nm node. In addition, the solution to the first challenge will be further validated in an end user environment, thus providing a field tested application that can be implemented in fabs throughout Europe, providing the later with a significant competitive edge entering the new era of semi-conductor manufacturing.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Słowa kluczowe
Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.
Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
23100 MIGDAL HAEMEK
Izrael
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.