Obiettivo
Beyond the 65 nm half pitch node in semiconductor manufacture, advanced resolution-enhancement techniques will be mandatory in optical lithography. Mask-less pattern transfer technologies will emerge as alternatives under certain combinations of process conditions. Both approaches will introduce additional challenges to overlay metrology and require solutions beyond those currently in use. Today, overlay metrology is based on structures, which relate the relative placement of one layer to a previous one in the manufactured device.
These structures are becoming a limiting factor. Critical challenges are confronted:
- inability to compensate for the impact of across field scanner aberration variations on device overlay, enhanced by off-axis illumination techniques
- inability to accurately represent overlay errors associated with device structures, manufactured by sub wavelength lithography processes such as optical proximity corrections and phase shift masks.
As mask-less solutions begin to play a role, overlay issues will be critical. Many measurements will be required for overlay control. SEM metrology does not have the throughput and versatility to meet production needs. Optical metrology will remain the best contender. Solution is required which enables denser overlay metrology sampling within the active area of the die. The aim of the proposed project is to perform research and investigate solutions, which will lead to the development of new metrology applications that will enable overlay to be accurately measured in the face of the above-defined challenges.
The technology developed, will enable overlay control beyond the 65 nm node. In addition, the solution to the first challenge will be further validated in an end user environment, thus providing a field tested application that can be implemented in fabs throughout Europe, providing the later with a significant competitive edge entering the new era of semi-conductor manufacturing.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
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Parole chiave
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
23100 MIGDAL HAEMEK
Israele
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.