Projektbeschreibung
Technologies and devices for micro/nano-scale integration
The DAVID project targets to provide an extremely high packaging density for hybrid integration of MEMS with ASICs. A significant reduction of assembly and packaging costs, specifically for consumer applications, shall be reached by the integration approach itself, but also by a lithographic size reduction of micromachined structures. The benefit becomes most visible when several sensors are clustered in a single, hermetic encapsulation on wafer level.
Beyond this, a "3D-SiP" approach can improve product quality by reducing parasitic effects: DAVID's extremely short interconnects are particularly interesting for capacitive or high-frequency signals.
The project is designed to demonstrate a complete process flow with the following technology components: - vertical interconnect by post-CMOS feedthroughs- handling, assembly and waferlevel bonding of singulated, open MEMS devices on a CMOS wafer- vacuum sealing and fine structured getter films to control the sensor cavity ambient- waferlevel molding and solder balling to build a chip-scale MEMS-SiP.
Critical aspect like mechanical drift and offset effects of package stress are addressed by the implementation of a test vehicle that allows to measure and correlate them with FEM simulations. A control of design and material suitability is therefore given through all process stages.
The project consortium forms a representative industrial environment: ST Microelectronics as a large semiconductor manufacturer acts close to high-volume market requirements. Datacon Technology and Besi Molding provide industrial equipment for assembly and packaging. SAES Getters is a renowned service provider in vacuum technology. Research and design support is given by Fraunhofer ISIT and Wroclaw University of Technology.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik Elektrotechnik Sensoren
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Mikroelektronik
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
FP6-2004-IST-4
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
25524 Itzehoe
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.