ATTOsecond Spectro-microscopies for Photoresist Improvement and Efficacy

Información del proyecto

ATTO-SPIE

Identificador del acuerdo de subvención: 101031245

DOI

10.3030/101031245

Proyecto finalizado el 31 Marzo 2023

Fecha de la firma de la CE 25 Febrero 2021

Fecha de inicio 1 Junio 2021

Fecha de finalización 31 Mayo 2023

Financiado con arreglo a

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Coste total

€ 166 320,00

Aportación de la UE

€ 166 320,00

Coordinado por

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

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Publicaciones

Conference proceedings (2)

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autores: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Publicado en: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Edición 12494, 2023, 2023, Página(s) 1249407
Editor: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

A scientific framework for establishing ultrafast molecular dynamic research in imec's AttoLab

Autores: Laura Galleni, Faegheh S. Sajjadian, Theirry Conard, Ivan Pollentier, Kevin M. Dorney, Fabian Holzmeier, Esben Witting Larsen, Daniel Escudero, Geoffrey Pourtois, Michiel J. van Setten, Paul van der Heide, John S. Petersen
Publicado en: Proceedings of SPIE, Volume 12498, Advances in Patterning Materials and Processes XL, Edición 124980W, 2023, 2023, Página(s) 124980W
Editor: SPIE
DOI: 10.1117/12.2660047