ATTOsecond Spectro-microscopies for Photoresist Improvement and Efficacy

Informazioni relative al progetto

ATTO-SPIE

ID dell’accordo di sovvenzione: 101031245

DOI

10.3030/101031245

Progetto concluso il 31 Marzo 2023

Data della firma CE 25 Febbraio 2021

Data di avvio 1 Giugno 2021

Data di completamento 31 Maggio 2023

Finanziato da

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Costo totale

€ 166 320,00

Contributo UE

€ 166 320,00

Coordinato da

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

CORDIS fornisce collegamenti ai risultati finali pubblici e alle pubblicazioni dei progetti ORIZZONTE.

I link ai risultati e alle pubblicazioni dei progetti del 7° PQ, così come i link ad alcuni tipi di risultati specifici come dataset e software, sono recuperati dinamicamente da .OpenAIRE .

Pubblicazioni

Conference proceedings (2)

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autori: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Pubblicato in: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Numero 12494, 2023, 2023, Pagina/e 1249407
Editore: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

A scientific framework for establishing ultrafast molecular dynamic research in imec's AttoLab

Autori: Laura Galleni, Faegheh S. Sajjadian, Theirry Conard, Ivan Pollentier, Kevin M. Dorney, Fabian Holzmeier, Esben Witting Larsen, Daniel Escudero, Geoffrey Pourtois, Michiel J. van Setten, Paul van der Heide, John S. Petersen
Pubblicato in: Proceedings of SPIE, Volume 12498, Advances in Patterning Materials and Processes XL, Numero 124980W, 2023, 2023, Pagina/e 124980W
Editore: SPIE
DOI: 10.1117/12.2660047