ATTOsecond Spectro-microscopies for Photoresist Improvement and Efficacy

Informations projet

ATTO-SPIE

N° de convention de subvention: 101031245

DOI

10.3030/101031245

Projet clôturé le 31 Mars 2023

Date de signature de la CE 25 Février 2021

Date de début 1 Juin 2021

Date de fin 31 Mai 2023

Financé au titre de

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Coût total

€ 166 320,00

Contribution de l’UE

€ 166 320,00

Coordonné par

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

CORDIS fournit des liens vers les livrables publics et les publications des projets HORIZON.

Les liens vers les livrables et les publications des projets du 7e PC, ainsi que les liens vers certains types de résultats spécifiques tels que les jeux de données et les logiciels, sont récupérés dynamiquement sur OpenAIRE .

Publications

Conference proceedings (2)

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Auteurs: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Publié dans: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Numéro 12494, 2023, 2023, Page(s) 1249407
Éditeur: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

A scientific framework for establishing ultrafast molecular dynamic research in imec's AttoLab

Auteurs: Laura Galleni, Faegheh S. Sajjadian, Theirry Conard, Ivan Pollentier, Kevin M. Dorney, Fabian Holzmeier, Esben Witting Larsen, Daniel Escudero, Geoffrey Pourtois, Michiel J. van Setten, Paul van der Heide, John S. Petersen
Publié dans: Proceedings of SPIE, Volume 12498, Advances in Patterning Materials and Processes XL, Numéro 124980W, 2023, 2023, Page(s) 124980W
Éditeur: SPIE
DOI: 10.1117/12.2660047