ATTOsecond Spectro-microscopies for Photoresist Improvement and Efficacy

Informacje na temat projektu

ATTO-SPIE

Identyfikator umowy o grant: 101031245

DOI 10.3030/101031245

Realizacja projektu zakończyła się 31 Marca 2023

Data podpisania przez KE 25 Lutego 2021

Data rozpoczęcia 1 Czerwca 2021

Data zakończenia 31 Maja 2023

Finansowanie w ramach

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Koszt całkowity € 166 320,00

Wkład UE € 166 320,00

Koordynowany przez

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

Publikacje

Conference proceedings (2)

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autorzy: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Opublikowane w: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Numer 12494, 2023, 2023, Strona(/y) 1249407
Wydawca: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

A scientific framework for establishing ultrafast molecular dynamic research in imec's AttoLab

Autorzy: Laura Galleni, Faegheh S. Sajjadian, Theirry Conard, Ivan Pollentier, Kevin M. Dorney, Fabian Holzmeier, Esben Witting Larsen, Daniel Escudero, Geoffrey Pourtois, Michiel J. van Setten, Paul van der Heide, John S. Petersen
Opublikowane w: Proceedings of SPIE, Volume 12498, Advances in Patterning Materials and Processes XL, Numer 124980W, 2023, 2023, Strona(/y) 124980W
Wydawca: SPIE
DOI: 10.1117/12.2660047