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ATTOsecond Spectro-microscopies for Photoresist Improvement and Efficacy

Veröffentlichungen

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autoren: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Veröffentlicht in: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Ausgabe 12494, 2023, 2023, Seite(n) 1249407
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

A scientific framework for establishing ultrafast molecular dynamic research in imec's AttoLab

Autoren: Laura Galleni, Faegheh S. Sajjadian, Theirry Conard, Ivan Pollentier, Kevin M. Dorney, Fabian Holzmeier, Esben Witting Larsen, Daniel Escudero, Geoffrey Pourtois, Michiel J. van Setten, Paul van der Heide, John S. Petersen
Veröffentlicht in: Proceedings of SPIE, Volume 12498, Advances in Patterning Materials and Processes XL, Ausgabe 124980W, 2023, 2023, Seite(n) 124980W
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.2660047

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