ATTOsecond Spectro-microscopies for Photoresist Improvement and Efficacy

Projektinformationen

ATTO-SPIE

ID Finanzhilfevereinbarung: 101031245

DOI

10.3030/101031245

Das Projekt endete am 31 März 2023

EK-Unterschriftsdatum 25 Februar 2021

Startdatum 1 Juni 2021

Enddatum 31 Mai 2023

Finanziert unter

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Gesamtkosten

€ 166 320,00

EU-Beitrag

€ 166 320,00

Koordiniert durch

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

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Veröffentlichungen

Conference proceedings (2)

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autoren: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Veröffentlicht in: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Ausgabe 12494, 2023, 2023, Seite(n) 1249407
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

A scientific framework for establishing ultrafast molecular dynamic research in imec's AttoLab

Autoren: Laura Galleni, Faegheh S. Sajjadian, Theirry Conard, Ivan Pollentier, Kevin M. Dorney, Fabian Holzmeier, Esben Witting Larsen, Daniel Escudero, Geoffrey Pourtois, Michiel J. van Setten, Paul van der Heide, John S. Petersen
Veröffentlicht in: Proceedings of SPIE, Volume 12498, Advances in Patterning Materials and Processes XL, Ausgabe 124980W, 2023, 2023, Seite(n) 124980W
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.2660047