Attosecond time-and angle resolved PhotoEmission Spectroscopy (AttoPES)

Información del proyecto

AttoPES

Identificador del acuerdo de subvención: 101032241

DOI

10.3030/101032241

Proyecto cerrado

Fecha de la firma de la CE 15 Marzo 2021

Fecha de inicio 1 Marzo 2022

Fecha de finalización 29 Febrero 2024

Financiado con arreglo a

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Coste total

€ 166 320,00

Aportación de la UE

€ 166 320,00

Coordinado por

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

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Publicaciones

Conference proceedings (2)

Actinic photoemission spectroscopy of litho materials using a table-top ultrafast EUV source

Autores: D. P. Singh, K. M. Dorney, F. Holzmeier, E. W. Larsen, L. Galleni, C. Mokhtarzadeh, M. J. van Setten, T. Conard, J. S. Petersen, P. A. W. van der Heide
Publicado en: Proc. SPIE 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII, Edición 12955, 2024, 2024, Página(s) 1295504
Editor: SPIE
DOI: 10.1117/12.3010751

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autores: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Publicado en: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Edición 12494, 2023, 2023, Página(s) 1249407
Editor: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

Peer reviewed articles (2)

Photoemission spectroscopy on photoresist materials: A protocol for analysis of radiation sensitive materials

Autores: Faegheh S. Sajjadian; Laura Galleni; Kevin M. Dorney; Dhirendra P. Singh; Fabian Holzmeier; Michiel J. van Setten; Stefan De Gendt; Thierry Conard
Publicado en: J. Vac. Sci. Technol. A, Edición 41, 2023, 2023, Página(s) 53206, ISSN 0734-2101
Editor: American Institute of Physics
DOI: 10.1116/6.0002808

Peak Broadening in Photoelectron Spectroscopy of Amorphous Polymers: The Leading Role of the Electrostatic Landscape

Autores: Laura Galleni, Arne Meulemans, Faegheh S. Sajjadian, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Kevin M. Dorney, Thierry Conard, Gabriele D’Avino, Geoffrey Pourtois, Daniel Escudero, and Michiel J. van Setten
Publicado en: J. Phys. Chem. Lett., Edición 15,3, 2024, 2024, Página(s) 834-839, ISSN 1948-7185
Editor: American Chemical Society
DOI: 10.1021/acs.jpclett.3c02640