Attosecond time-and angle resolved PhotoEmission Spectroscopy (AttoPES)

Informations projet

AttoPES

N° de convention de subvention: 101032241

DOI

10.3030/101032241

Projet clôturé

Date de signature de la CE 15 Mars 2021

Date de début 1 Mars 2022

Date de fin 29 Février 2024

Financé au titre de

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Coût total

€ 166 320,00

Contribution de l’UE

€ 166 320,00

Coordonné par

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

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Publications

Conference proceedings (2)

Actinic photoemission spectroscopy of litho materials using a table-top ultrafast EUV source

Auteurs: D. P. Singh, K. M. Dorney, F. Holzmeier, E. W. Larsen, L. Galleni, C. Mokhtarzadeh, M. J. van Setten, T. Conard, J. S. Petersen, P. A. W. van der Heide
Publié dans: Proc. SPIE 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII, Numéro 12955, 2024, 2024, Page(s) 1295504
Éditeur: SPIE
DOI: 10.1117/12.3010751

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Auteurs: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Publié dans: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Numéro 12494, 2023, 2023, Page(s) 1249407
Éditeur: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

Peer reviewed articles (2)

Photoemission spectroscopy on photoresist materials: A protocol for analysis of radiation sensitive materials

Auteurs: Faegheh S. Sajjadian; Laura Galleni; Kevin M. Dorney; Dhirendra P. Singh; Fabian Holzmeier; Michiel J. van Setten; Stefan De Gendt; Thierry Conard
Publié dans: J. Vac. Sci. Technol. A, Numéro 41, 2023, 2023, Page(s) 53206, ISSN 0734-2101
Éditeur: American Institute of Physics
DOI: 10.1116/6.0002808

Peak Broadening in Photoelectron Spectroscopy of Amorphous Polymers: The Leading Role of the Electrostatic Landscape

Auteurs: Laura Galleni, Arne Meulemans, Faegheh S. Sajjadian, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Kevin M. Dorney, Thierry Conard, Gabriele D’Avino, Geoffrey Pourtois, Daniel Escudero, and Michiel J. van Setten
Publié dans: J. Phys. Chem. Lett., Numéro 15,3, 2024, 2024, Page(s) 834-839, ISSN 1948-7185
Éditeur: American Chemical Society
DOI: 10.1021/acs.jpclett.3c02640