Attosecond time-and angle resolved PhotoEmission Spectroscopy (AttoPES)

Projektinformationen

AttoPES

ID Finanzhilfevereinbarung: 101032241

DOI

10.3030/101032241

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 15 März 2021

Startdatum 1 März 2022

Enddatum 29 Februar 2024

Finanziert unter

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Gesamtkosten

€ 166 320,00

EU-Beitrag

€ 166 320,00

Koordiniert durch

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

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Veröffentlichungen

Conference proceedings (2)

Actinic photoemission spectroscopy of litho materials using a table-top ultrafast EUV source

Autoren: D. P. Singh, K. M. Dorney, F. Holzmeier, E. W. Larsen, L. Galleni, C. Mokhtarzadeh, M. J. van Setten, T. Conard, J. S. Petersen, P. A. W. van der Heide
Veröffentlicht in: Proc. SPIE 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII, Ausgabe 12955, 2024, 2024, Seite(n) 1295504
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.3010751

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autoren: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Veröffentlicht in: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Ausgabe 12494, 2023, 2023, Seite(n) 1249407
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

Peer reviewed articles (2)

Photoemission spectroscopy on photoresist materials: A protocol for analysis of radiation sensitive materials

Autoren: Faegheh S. Sajjadian; Laura Galleni; Kevin M. Dorney; Dhirendra P. Singh; Fabian Holzmeier; Michiel J. van Setten; Stefan De Gendt; Thierry Conard
Veröffentlicht in: J. Vac. Sci. Technol. A, Ausgabe 41, 2023, 2023, Seite(n) 53206, ISSN 0734-2101
Herausgeber: American Institute of Physics
DOI: 10.1116/6.0002808

Peak Broadening in Photoelectron Spectroscopy of Amorphous Polymers: The Leading Role of the Electrostatic Landscape

Autoren: Laura Galleni, Arne Meulemans, Faegheh S. Sajjadian, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Kevin M. Dorney, Thierry Conard, Gabriele D’Avino, Geoffrey Pourtois, Daniel Escudero, and Michiel J. van Setten
Veröffentlicht in: J. Phys. Chem. Lett., Ausgabe 15,3, 2024, 2024, Seite(n) 834-839, ISSN 1948-7185
Herausgeber: American Chemical Society
DOI: 10.1021/acs.jpclett.3c02640