Attosecond time-and angle resolved PhotoEmission Spectroscopy (AttoPES)

Informazioni relative al progetto

AttoPES

ID dell’accordo di sovvenzione: 101032241

DOI

10.3030/101032241

Progetto chiuso

Data della firma CE 15 Marzo 2021

Data di avvio 1 Marzo 2022

Data di completamento 29 Febbraio 2024

Finanziato da

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Costo totale

€ 166 320,00

Contributo UE

€ 166 320,00

Coordinato da

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

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Pubblicazioni

Conference proceedings (2)

Actinic photoemission spectroscopy of litho materials using a table-top ultrafast EUV source

Autori: D. P. Singh, K. M. Dorney, F. Holzmeier, E. W. Larsen, L. Galleni, C. Mokhtarzadeh, M. J. van Setten, T. Conard, J. S. Petersen, P. A. W. van der Heide
Pubblicato in: Proc. SPIE 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII, Numero 12955, 2024, 2024, Pagina/e 1295504
Editore: SPIE
DOI: 10.1117/12.3010751

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autori: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Pubblicato in: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Numero 12494, 2023, 2023, Pagina/e 1249407
Editore: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

Peer reviewed articles (2)

Photoemission spectroscopy on photoresist materials: A protocol for analysis of radiation sensitive materials

Autori: Faegheh S. Sajjadian; Laura Galleni; Kevin M. Dorney; Dhirendra P. Singh; Fabian Holzmeier; Michiel J. van Setten; Stefan De Gendt; Thierry Conard
Pubblicato in: J. Vac. Sci. Technol. A, Numero 41, 2023, 2023, Pagina/e 53206, ISSN 0734-2101
Editore: American Institute of Physics
DOI: 10.1116/6.0002808

Peak Broadening in Photoelectron Spectroscopy of Amorphous Polymers: The Leading Role of the Electrostatic Landscape

Autori: Laura Galleni, Arne Meulemans, Faegheh S. Sajjadian, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Kevin M. Dorney, Thierry Conard, Gabriele D’Avino, Geoffrey Pourtois, Daniel Escudero, and Michiel J. van Setten
Pubblicato in: J. Phys. Chem. Lett., Numero 15,3, 2024, 2024, Pagina/e 834-839, ISSN 1948-7185
Editore: American Chemical Society
DOI: 10.1021/acs.jpclett.3c02640