Attosecond time-and angle resolved PhotoEmission Spectroscopy (AttoPES)

Informacje na temat projektu

AttoPES

Identyfikator umowy o grant: 101032241

DOI

10.3030/101032241

Projekt został zamknięty

Data podpisania przez KE 15 Marca 2021

Data rozpoczęcia 1 Marca 2022

Data zakończenia 29 Lutego 2024

Finansowanie w ramach

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Koszt całkowity

€ 166 320,00

Wkład UE

€ 166 320,00

Koordynowany przez

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

CORDIS oferuje możliwość skorzystania z odnośników do publicznie dostępnych publikacji i rezultatów projektów realizowanych w ramach programów ramowych HORYZONT.

Odnośniki do rezultatów i publikacji związanych z poszczególnymi projektami 7PR, a także odnośniki do niektórych konkretnych kategorii wyników, takich jak zbiory danych i oprogramowanie, są dynamicznie pobierane z systemu OpenAIRE .

Publikacje

Conference proceedings (2)

Actinic photoemission spectroscopy of litho materials using a table-top ultrafast EUV source

Autorzy: D. P. Singh, K. M. Dorney, F. Holzmeier, E. W. Larsen, L. Galleni, C. Mokhtarzadeh, M. J. van Setten, T. Conard, J. S. Petersen, P. A. W. van der Heide
Opublikowane w: Proc. SPIE 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII, Numer 12955, 2024, 2024, Strona(/y) 1295504
Wydawca: SPIE
DOI: 10.1117/12.3010751

Actinic inspection of the EUV optical parameters of lithographic materials with lab-based radiometry and reflectometry

Autorzy: Kevin M. Dorney, Nicola N. Kissoon, Fabian Holzmeier, Esben W. Larsen, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Sayantani Santra, Roberto Fallica, Igor Makhotkin, Vicky Philipsen, Stefan De Gendt, Claudia Fleischmann, Paul A. W. van der Heide, John S. Petersen
Opublikowane w: Proceedings of SPIE, Volume 12494, Optical and EUV Nanolithography XXXVI, Numer 12494, 2023, 2023, Strona(/y) 1249407
Wydawca: SPIE
DOI: 10.1117/12.2658359

Peer reviewed articles (2)

Photoemission spectroscopy on photoresist materials: A protocol for analysis of radiation sensitive materials

Autorzy: Faegheh S. Sajjadian; Laura Galleni; Kevin M. Dorney; Dhirendra P. Singh; Fabian Holzmeier; Michiel J. van Setten; Stefan De Gendt; Thierry Conard
Opublikowane w: J. Vac. Sci. Technol. A, Numer 41, 2023, 2023, Strona(/y) 53206, ISSN 0734-2101
Wydawca: American Institute of Physics
DOI: 10.1116/6.0002808

Peak Broadening in Photoelectron Spectroscopy of Amorphous Polymers: The Leading Role of the Electrostatic Landscape

Autorzy: Laura Galleni, Arne Meulemans, Faegheh S. Sajjadian, Dhirendra P. Singh, Shikhar Arvind, Kevin M. Dorney, Thierry Conard, Gabriele D’Avino, Geoffrey Pourtois, Daniel Escudero, and Michiel J. van Setten
Opublikowane w: J. Phys. Chem. Lett., Numer 15,3, 2024, 2024, Strona(/y) 834-839, ISSN 1948-7185
Wydawca: American Chemical Society
DOI: 10.1021/acs.jpclett.3c02640