CORDIS fournit des liens vers les livrables publics et les publications des projets HORIZON.
Les liens vers les livrables et les publications des projets du 7e PC, ainsi que les liens vers certains types de résultats spécifiques tels que les jeux de données et les logiciels, sont récupérés dynamiquement sur OpenAIRE .
Livrables
Properties of lithographic patterning for a positive & a negative tone resist series to generate binary (2D), grayscale 2.5D and 3D patterns by using 1) a mask aligner process, 2) one photon laser & a two/ multi photon process and 3) interference lithography process, Summary of chemical, optical, mechanical, and thermal properties of resist patterns.
Plan for Dissemination and Communication (s’ouvre dans une nouvelle fenêtre)The Plan for Dissemination and Communication is a working document where the dissemination strategy and tools to be used during the life of the project are described.
Publications
Auteurs:
Christine Schuster, Gerda Ekindorf, Anja Voigt, Arne Schleunitz, Gabi Grützner
Publié dans:
Proceedings Volume 12497, Novel Patterning Technologies, Numéro Volume 12497, 2023
Éditeur:
SPIE - Proceedings Volume 12497, Novel Patterning Technologies 2023; 124970P (2023)
DOI:
10.1117/12.2661526
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