CORDIS fornisce collegamenti ai risultati finali pubblici e alle pubblicazioni dei progetti ORIZZONTE.
I link ai risultati e alle pubblicazioni dei progetti del 7° PQ, così come i link ad alcuni tipi di risultati specifici come dataset e software, sono recuperati dinamicamente da .OpenAIRE .
Risultati finali
Properties of lithographic patterning for a positive & a negative tone resist series to generate binary (2D), grayscale 2.5D and 3D patterns by using 1) a mask aligner process, 2) one photon laser & a two/ multi photon process and 3) interference lithography process, Summary of chemical, optical, mechanical, and thermal properties of resist patterns.
Plan for Dissemination and Communication (si apre in una nuova finestra)The Plan for Dissemination and Communication is a working document where the dissemination strategy and tools to be used during the life of the project are described.
Pubblicazioni
Autori:
Christine Schuster, Gerda Ekindorf, Anja Voigt, Arne Schleunitz, Gabi Grützner
Pubblicato in:
Proceedings Volume 12497, Novel Patterning Technologies, Numero Volume 12497, 2023
Editore:
SPIE - Proceedings Volume 12497, Novel Patterning Technologies 2023; 124970P (2023)
DOI:
10.1117/12.2661526
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