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SUperconducting-Nitride by area-Selective ALD at Low Temperature

Obiettivo

The field of computing saw a breakthrough when quantum supremacy was established, and it was demonstrated that a classical computer will take 10,000 years for a task that a quantum processor based on superconducting qubits took 200 seconds. The future generation of computing hardware that can deliver high performance parallel computing include (i) High performance superconducting circuits-based computing hardware and (ii) quantum processors based on superconducting qubits. Key components of these technologies, like Superconducting Nanowire for Single-Photon Detectors (SNSPDs), cryogenic interconnects and ground plane electronics, use SUperconducting Nitrides (SUNs) such as NbN, TiN and NbTiN. However, despite the heavy reliance on SUNs, optimal deposition processes to engineer these materials to meet the challenges of the technology are still lacking. The desirable process should be able to engineer the features of conformality, provide continuous, pin-hole free films with controlled thicknesses between 2-5 nm, occur at low temperatures and in some applications provide selectivity to reduce the patterning overhead.
This project addresses this gap in SUN material engineering by generating scientific understanding that is pivotal to enabling the quantum processors in the future. We intend to do so by investigating novel chemistries and sequences of Atomic Layer Deposition (ALD) coupled with surface functionalization in order to enable the fabrication of CMOS industry compatible, area Selective ALD at Low Temperature (SALT) of the widely used SUNs of NbN, TiN and NbTiN. This project will increase the understanding of ALD using reducing agents and inhibitors, advance the science of area selective ALD and enable higher fidelity qubits. Therefore, this research contributes to advancing chemical science and caters to the critical needs of the superconducting digital electronics as well as quantum processor hardware since SUNs are ubiquitous to both technologies.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Parole chiave

Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).

Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito di questo schema di finanziamento

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

(si apre in una nuova finestra) HORIZON-MSCA-2022-PF-01

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito del bando

Coordinatore

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Contributo netto dell'UE

Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.

€ 191 760,00
Indirizzo
KAPELDREEF 75
3001 Leuven
Belgio

Mostra sulla mappa

Regione
Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven
Tipo di attività
Research Organisations
Collegamenti
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato
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