Description du projet
Faire évoluer la technologie des semi-conducteurs de nouvelle génération
L’industrie des semi-conducteurs s’efforce de maintenir le rythme rapide du progrès technologique dicté par la loi de Moore. Évoluer vers des nœuds plus petits exige des percées dans les domaines de la lithographie, de la métrologie et de la conception des transistors afin de garantir la performance, l’efficacité et la fabricabilité. À l’échelle de 14 angströms, maintenir la précision dans la fabrication, l’inspection et le contrôle de la qualité est essentiel pour les technologies de calcul, d’intelligence artificielle et de communication de nouvelle génération. En outre, les contraintes de développement durable exigent des alternatives plus écologiques aux matériaux et processus traditionnels. Dans ce contexte, le projet 14AMI financé par l’UE va développer des solutions de pointe pour le nœud CMOS de 14Å. Il concentre ses efforts sur le perfectionnement de la lithographie dans l’ultraviolet extrême, le développement de méthodes de métrologie globales et l’intégration de transistors à effet de champ complémentaires (CFET). Le projet s’inscrit également dans une perspective de développement durable grâce à des résines photosensibles exemptes de PFAS et à des améliorations des performances pilotées par l’intelligence artificielle.
Objectif
The 14AMI project is about creating technological solutions for the 14 Angstrom CMOS technology node, including a fully integrated functional CFET (Complementary Field Effect Transistor) as new active CMOS device, and state-of-the-art holistic metrology techniques for both wafer and mask inspection and review. All is aimed to keep the pace in the industry to follow Moores law.
The project addresses the following 3 main pillars that are relevant in enabling manufacture of 14A technology, 1) lithography, 2) metrology and 3) process module integration.
In lithography the aim is to realize solutions for the 0.55NA EUV scanner platform to secure 14Angstrom node compliance in performance, that is, resolution, alignment, throughput and optics lifetime. In Metrology the objective is to cover wafer and mask metrology and quality control. The aim is to develop holistic metrology, tools & methods and data analytics to improve overlay, CD and focus measurement and quality control with a Precision to Tolerance, P/T, ratio between 0.1 and 0.3. In process module integration work covers the realization and demonstration of a CFET Complementary Field Effect Transistor - CMOS device. Three options will be investigated for integration; a monolithic, sequential and a hybrid solution. In addition, the partners will develop a PFAS-free photo resist to reduce the ecological footprint of photolithography processes, and a smart AI based sensor technology to improve vacuum chambers' efficiency and reduce waste.
At societal level the expected impact of the 14AMI project will support the partners and their supplier network to stay at the leading edge of high-tech developments, crucial to meet the digitization challenges of the European society. Moreover, 14AMI will boost industrial competitiveness, and attract talent in Europe, while enabling new application in areas such as security, communication and enabling of further automation in mobility, health and research.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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Mots‑clés
Programme(s)
Appel à propositions
(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-KDT-JU-2022-1-IA
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HORIZON-JU-IA -Coordinateur
5504DR Veldhoven
Pays-Bas
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Participants (36)
76705 Rehovot
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2306990 Migdal Haemek
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4782 St Florian Am Inn
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3001 Leuven
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3001 Leuven
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76100 REHOVOT
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74000 Annecy
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6600 Reutte
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7555 RJ Hengelo Ov
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
5651 GG Eindhoven
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060042 Bucharest
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7522 NB Enschede
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5651 GH Eindhoven
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31700 Blagnac
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
7521 PH Enschede
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
5683 CR Best
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9747 AC GRONINGEN
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7521 PH Enschede
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2628 AK Delft
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2628 CN Delft
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73447 Oberkochen
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23100 Migdal Haemek
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5667 KV Geldrop
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52062 Aachen
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42119 Wuppertal
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80686 Munchen
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2595 DA Den Haag
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3047 AT Rotterdam
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01109 DRESDEN
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5612 AE Eindhoven
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85551 Heimstetten
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Partenaires (2)
Les organisations partenaires contribuent à la mise en œuvre de l’action, mais ne signent pas la convention de subvention.
2000 Neuchatel
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1053 Cugy
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