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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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14 Angstroms Module Integration

Description du projet

Faire évoluer la technologie des semi-conducteurs de nouvelle génération

L’industrie des semi-conducteurs s’efforce de maintenir le rythme rapide du progrès technologique dicté par la loi de Moore. Évoluer vers des nœuds plus petits exige des percées dans les domaines de la lithographie, de la métrologie et de la conception des transistors afin de garantir la performance, l’efficacité et la fabricabilité. À l’échelle de 14 angströms, maintenir la précision dans la fabrication, l’inspection et le contrôle de la qualité est essentiel pour les technologies de calcul, d’intelligence artificielle et de communication de nouvelle génération. En outre, les contraintes de développement durable exigent des alternatives plus écologiques aux matériaux et processus traditionnels. Dans ce contexte, le projet 14AMI financé par l’UE va développer des solutions de pointe pour le nœud CMOS de 14Å. Il concentre ses efforts sur le perfectionnement de la lithographie dans l’ultraviolet extrême, le développement de méthodes de métrologie globales et l’intégration de transistors à effet de champ complémentaires (CFET). Le projet s’inscrit également dans une perspective de développement durable grâce à des résines photosensibles exemptes de PFAS et à des améliorations des performances pilotées par l’intelligence artificielle.

Objectif

The 14AMI project is about creating technological solutions for the 14 Angstrom CMOS technology node, including a fully integrated functional CFET (Complementary Field Effect Transistor) as new active CMOS device, and state-of-the-art holistic metrology techniques for both wafer and mask inspection and review. All is aimed to keep the pace in the industry to follow “Moore’s law”.
The project addresses the following 3 main pillars that are relevant in enabling manufacture of 14A technology, 1) lithography, 2) metrology and 3) process module integration.

In lithography the aim is to realize solutions for the 0.55NA EUV scanner platform to secure 14Angstrom node compliance in performance, that is, resolution, alignment, throughput and optics lifetime. In Metrology the objective is to cover wafer and mask metrology and quality control. The aim is to develop holistic metrology, tools & methods and data analytics to improve overlay, CD and focus measurement and quality control with a Precision to Tolerance, P/T, ratio between 0.1 and 0.3. In process module integration work covers the realization and demonstration of a CFET – Complementary Field Effect Transistor - CMOS device. Three options will be investigated for integration; a monolithic, sequential and a hybrid solution. In addition, the partners will develop a PFAS-free photo resist to reduce the ecological footprint of photolithography processes, and a smart AI based sensor technology to improve vacuum chambers' efficiency and reduce waste.

At societal level the expected impact of the 14AMI project will support the partners and their supplier network to stay at the leading edge of high-tech developments, crucial to meet the digitization challenges of the European society. Moreover, 14AMI will “boost industrial competitiveness”, and attract talent in Europe, while enabling new application in areas such as security, communication and enabling of further automation in mobility, health and research.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Mots‑clés

Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).

Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme de financement

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-KDT-JU-2022-1-IA

Voir tous les projets financés au titre de cet appel

Coordinateur

ASML NETHERLANDS B.V.
Contribution nette de l'UE

La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.

€ 3 917 654,98
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

€ 25 000 000,00

Participants (37)

Partenaires (2)

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