14 Angstroms Module Integration

Información del proyecto

14AMI

Identificador del acuerdo de subvención: 101111948

DOI 10.3030/101111948

Fecha de la firma de la CE 10 Mayo 2023

Fecha de inicio 1 Mayo 2023

Fecha de finalización 30 Abril 2026

Financiado con arreglo a

• Digital, Industry and Space

Coste total € 108 912 395,57

Aportación de la UE € 24 952 214,68

Coordinado por

ASML NETHERLANDS B.V.
Netherlands

Descripción del proyecto

Avanzar en la tecnología de semiconductores de nueva generación

La industria de los semiconductores se enfrenta a desafíos en su lucha por mantener el rápido ritmo de progreso tecnológico dictado por la ley de Moore. El avance hacia nodos más pequeños exige avances en litografía, metrología y diseño de transistores para garantizar el rendimiento, la eficiencia y la capacidad de fabricación. En la escala de catorce ángstroms, mantener la precisión en la fabricación, la inspección y el control de calidad es crucial para las tecnologías de computación, inteligencia artificial y comunicación de próxima generación. Además, los problemas de sostenibilidad exigen alternativas más ecológicas a los materiales y procesos tradicionales. En este contexto, el proyecto 14AMI, financiado con fondos europeos, desarrollará soluciones de vanguardia para el nodo CMOS de 14Å. Se centra en el perfeccionamiento de la litografía ultravioleta extrema, el desarrollo de métodos de metrología holística y la integración de transistores de efecto de campo complementario. El proyecto también aboga por la sostenibilidad con fotorresistencias sin sustancias perfluoroalquiladas y polifluoroalquiladas, así como mejoras de la eficiencia impulsadas por la inteligencia artificial.

Objetivo

The 14AMI project is about creating technological solutions for the 14 Angstrom CMOS technology node, including a fully integrated functional CFET (Complementary Field Effect Transistor) as new active CMOS device, and state-of-the-art holistic metrology techniques for both wafer and mask inspection and review. All is aimed to keep the pace in the industry to follow Moores law.
The project addresses the following 3 main pillars that are relevant in enabling manufacture of 14A technology, 1) lithography, 2) metrology and 3) process module integration.

In lithography the aim is to realize solutions for the 0.55NA EUV scanner platform to secure 14Angstrom node compliance in performance, that is, resolution, alignment, throughput and optics lifetime. In Metrology the objective is to cover wafer and mask metrology and quality control. The aim is to develop holistic metrology, tools & methods and data analytics to improve overlay, CD and focus measurement and quality control with a Precision to Tolerance, P/T, ratio between 0.1 and 0.3. In process module integration work covers the realization and demonstration of a CFET Complementary Field Effect Transistor - CMOS device. Three options will be investigated for integration; a monolithic, sequential and a hybrid solution. In addition, the partners will develop a PFAS-free photo resist to reduce the ecological footprint of photolithography processes, and a smart AI based sensor technology to improve vacuum chambers' efficiency and reduce waste.

At societal level the expected impact of the 14AMI project will support the partners and their supplier network to stay at the leading edge of high-tech developments, crucial to meet the digitization challenges of the European society. Moreover, 14AMI will boost industrial competitiveness, and attract talent in Europe, while enabling new application in areas such as security, communication and enabling of further automation in mobility, health and research.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véase: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

• ciencias sociales › sociología › relaciones laborales › automatización
• ingeniería y tecnología › ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información › ingeniería electrónica › sensores
• ciencias sociales › derecho

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Palabras clave

• Semiconductor
• Process
• Lithography
• Metrology
• Equipment
• Nano
• Angstrom
• Technology
• Materials
• Moore's
• Law
• Heterogeneous
• Photonics
• System
• Sustainability

Programa(s)

• HORIZON.2.4 - Digital, Industry and Space Main Programme
• HORIZON.2.4.2 - Key Digital Technologies

Tema(s)

• HORIZON-KDT-JU-2022-1-IA-Topic-1 - General according to ECS-SRIA 2022 (IA)

Convocatoria de propuestas

HORIZON-KDT-JU-2022-1-IA

Régimen de financiación

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.

• Aportación neta de la UEn: € 3 917 654,98
• Dirección: DE RUN 6501 ; 5504DR Veldhoven ; Países Bajos
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 25 000 000,00

Participantes (36)

APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 721 250,00
• Dirección: OPPENHEIMER STREET 9 ; 76705 Rehovot
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 606 250,00

BRUKER TECHNOLOGIES LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 338 000,00
• Dirección: 6 HAMECHKAR STREET RAMAT GAVRIEL INDUSTRIAL ZONE ; 2306990 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 690 000,00

EV GROUP E. THALLNER GMBH

Austria

• Aportación neta de la UEn: € 566 705,00
• Dirección: DI ERICH THALLNER STRASSE 1 ; 4782 St Florian Am Inn
• Región: Westösterreich › Oberösterreich › Innviertel
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 833 523,00

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 4 275 428,76
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 12 215 510,75

JSR MICRO NV

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 89 061,52
• Dirección: TECHNOLOGIELAAN 8 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 526 991,25

NOVA LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 764 725,00
• Dirección: 5 DAVID FIKES ST ; 76100 REHOVOT
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 825 000,00

PFEIFFER VACUUM

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 430 527,50
• Dirección: 98 AVENUE DE BROGNY ; 74000 Annecy
• Región: Auvergne-Rhône-Alpes › Rhône-Alpes › Haute-Savoie
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 547 500,00

PLANSEE SE

Austria

• Aportación neta de la UEn: € 523 552,50
• Dirección: METALLWERK PLANSEE STRASSE 71 ; 6600 Reutte
• Región: Westösterreich › Tirol › Außerfern
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 630 262,50

REDEN B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 255 000,00
• Dirección: F HAZEMEIJERSTRAAT 800 ; 7555 RJ Hengelo Ov
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 850 000,00

FEI ELECTRON OPTICS BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 971 750,00
• Dirección: ACHTSEWEG NOORD GEBOUW AAE 5 ; 5651 GG Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 5 750 000,00

UNIVERSITATEA POLITEHNICA DIN BUCURESTI

Rumanía

• Aportación neta de la UEn: € 645 312,50
• Dirección: SPLAIUL INDEPENDENTEI 313 SECT 6 ; 060042 Bucharest
• Región: Macroregiunea Trei › Bucureşti-Ilfov › Bucureşti
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 1 843 750,00

UNIVERSITEIT TWENTE

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 987 743,75
• Dirección: DRIENERLOLAAN 5 ; 7522 NB Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 2 822 125,00

VDL ETG TECHNOLOGY & DEVELOPMENT BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 599 656,25
• Dirección: SCHAKEL 22 ; 5651 GH Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 998 281,25

RECIF TECHNOLOGIES

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 287 013,60
• Dirección: rue des briquetiers 9 ; 31700 Blagnac
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Región: Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 107 500,00

DEMCON LIFE SCIENCES & HEALTH ENSCHEDE BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 25 379,52
• Dirección: INSTITUTENWEG 25 ; 7521 PH Enschede
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 728 835,31

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON LIFE SCIENCES & HEALTHEINDHOVEN B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 5 856,81
• Dirección: KANAALDIJK 29 ; 5683 CR Best
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON HIGH-TECH SYSTEMS EINDHOVEN B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 132 754,36
• Dirección: BLAUWBORGJE 31 ; 9747 AC GRONINGEN
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON ENGINEERING BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 46 854,49
• Dirección: INSTITUTENWEG 25 ; 7521 PH Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DECOM KRYOZ BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 7 809,08
• Dirección: INSTITITENWEG 25 ; 7521PH Enschede
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON HIGH-TECH SYSTEMS DELFT BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 29 284,05
• Dirección: INSTITUTENWEG 25 ; 7521 PH Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON FOCAL BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 48 806,76
• Dirección: INSTITUTENWEG 25 A ; 7521 PH Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON HIGH-TECH SYSTEMS ENSCHEDE BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 402 167,67
• Dirección: INSTITUTENWEG 25 ; 7521 PH Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

DEMCON BUNOVA B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 46 854,49
• Dirección: INSTITUTENWEG 25 ; 7521 PH Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

FLEXIBLE OPTICAL BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 253 885,00
• Dirección: ROTTERDAMSEWEG 133 ; 2628 AK Delft
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Tipo de actividad
  Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 846 286,25

TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 154 542,50
• Dirección: STEVINWEG 1 ; 2628 CN Delft
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 441 550,00

CARL ZEISS SMT GMBH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 2 280 376,58
• Dirección: RUDOLF EBER STRASSE 2 ; 73447 Oberkochen
• Región: Baden-Württemberg › Stuttgart › Ostalbkreis
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 11 401 882,88

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 669 662,50
• Dirección: HATIKSHORET ST. ; 23100 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 348 212,50

FASTMICRO BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 360 000,00
• Dirección: SPAARPOT 3 ; 5667 KV Geldrop
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 200 000,00

RHEINISCH-WESTFAELISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE AACHEN

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 643 699,88
• Dirección: TEMPLERGRABEN 55 ; 52062 Aachen
• Región: Nordrhein-Westfalen › Köln › Städteregion Aachen
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 1 839 142,50

BERGISCHE UNIVERSITAET WUPPERTAL

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 242 392,06
• Dirección: GAUSS-STRASSE 20 ; 42119 Wuppertal
• Región: Nordrhein-Westfalen › Düsseldorf › Wuppertal, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 692 548,75

FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 1 190 223,13
• Dirección: HANSASTRASSE 27C ; 80686 Munchen
• Región: Bayern › Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 3 400 637,50

NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 997 492,00
• Dirección: ANNA VAN BUERENPLEIN 1 ; 2595 DA Den Haag
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 2 849 977,50

NEARFIELD INSTRUMENTS B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 455 662,13
• Dirección: VARESEWEG 5 ; 3047 AT Rotterdam
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Tipo de actividad
  Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 619 434,88

NOVA MEASURING INSTRUMENTS GMBH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 541 250,00
• Dirección: MORITSBURGER WEG 67 ; 01109 DRESDEN
• Región: Sachsen › Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 721 250,00

TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 300 280,31
• Dirección: GROENE LOPER 3 ; 5612 AE Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 857 943,75

ICT Integrated Circuit Testing GmbH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 743 600,00
• Dirección: Ammerthalstrasse 20 ; 85551 Heimstetten
• Región: Bayern › Oberbayern › München, Landkreis
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 718 000,00

Socios (2)

Socio

Las organizaciones asociadas contribuyen a la aplicación de la acción, pero no firman el acuerdo de subvención.

CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA - RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT

Suiza

• Aportación neta de la UEn: € 0,00
• Dirección: RUE JAQUET DROZ 1 ; 2000 Neuchatel
• Región: Schweiz/Suisse/Svizzera › Espace Mittelland › Neuchâtel
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: Sin datos

Socio

Las organizaciones asociadas contribuyen a la aplicación de la acción, pero no firman el acuerdo de subvención.

IMINA TECHNOLOGIES SA

Suiza

• Aportación neta de la UEn: € 0,00
• Dirección: ROUTE DE MONTHERON 8B ; 1053 Cugy
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Schweiz/Suisse/Svizzera › Région lémanique › Vaud
• Región: Schweiz/Suisse/Svizzera › Région lémanique › Vaud
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos