Descrizione del progetto
Progredire nella tecnologia dei semiconduttori di prossima generazione
L’industria dei semiconduttori deve affrontare sfide per mantenere il rapido ritmo del progresso tecnologico dettato dalla legge di Moore. Il passaggio a nodi più piccoli richiede progressi nella litografia, nella metrologia e nella progettazione dei transistor per garantire prestazioni, efficienza e producibilità. Alla scala dei 14 angstrom, la precisione nella fabbricazione, nell’ispezione e nel controllo di qualità è fondamentale per le tecnologie di calcolo, IA e comunicazione di prossima generazione. Inoltre, le preoccupazioni per la sostenibilità richiedono alternative più ecologiche ai materiali e ai processi tradizionali. In questo contesto, il progetto 14AMI, finanziato dall’UE, svilupperà soluzioni all’avanguardia per il nodo CMOS da 14Å. Concentrandosi sul perfezionamento della litografia a ultravioletti estremi (EUV), sui pionieristici metodi di metrologia olistica e sull’integrazione dei transistor complementari a effetto di campo (CFET), il progetto promuove anche la sostenibilità con fotoresistenze prive di PFAS e miglioramenti dell’efficienza guidati dall’intelligenza artificiale.
Obiettivo
The 14AMI project is about creating technological solutions for the 14 Angstrom CMOS technology node, including a fully integrated functional CFET (Complementary Field Effect Transistor) as new active CMOS device, and state-of-the-art holistic metrology techniques for both wafer and mask inspection and review. All is aimed to keep the pace in the industry to follow Moores law.
The project addresses the following 3 main pillars that are relevant in enabling manufacture of 14A technology, 1) lithography, 2) metrology and 3) process module integration.
In lithography the aim is to realize solutions for the 0.55NA EUV scanner platform to secure 14Angstrom node compliance in performance, that is, resolution, alignment, throughput and optics lifetime. In Metrology the objective is to cover wafer and mask metrology and quality control. The aim is to develop holistic metrology, tools & methods and data analytics to improve overlay, CD and focus measurement and quality control with a Precision to Tolerance, P/T, ratio between 0.1 and 0.3. In process module integration work covers the realization and demonstration of a CFET Complementary Field Effect Transistor - CMOS device. Three options will be investigated for integration; a monolithic, sequential and a hybrid solution. In addition, the partners will develop a PFAS-free photo resist to reduce the ecological footprint of photolithography processes, and a smart AI based sensor technology to improve vacuum chambers' efficiency and reduce waste.
At societal level the expected impact of the 14AMI project will support the partners and their supplier network to stay at the leading edge of high-tech developments, crucial to meet the digitization challenges of the European society. Moreover, 14AMI will boost industrial competitiveness, and attract talent in Europe, while enabling new application in areas such as security, communication and enabling of further automation in mobility, health and research.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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Parole chiave
Programma(i)
Invito a presentare proposte
(si apre in una nuova finestra) HORIZON-KDT-JU-2022-1-IA
Vedi altri progetti per questo bandoMeccanismo di finanziamento
HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation ActionsCoordinatore
5504DR Veldhoven
Paesi Bassi
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Partecipanti (36)
76705 Rehovot
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2306990 Migdal Haemek
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4782 St Florian Am Inn
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3001 Leuven
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3001 Leuven
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76100 REHOVOT
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74000 Annecy
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6600 Reutte
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7555 RJ Hengelo Ov
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
5651 GG Eindhoven
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060042 Bucharest
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7522 NB Enschede
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5651 GH Eindhoven
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31700 Blagnac
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
7521 PH Enschede
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
Soggetto giuridico diverso da un subappaltatore che è affiliato o legalmente collegato a un partecipante. Il soggetto svolge le attività secondo le condizioni stabilite nell’accordo di sovvenzione, fornisce beni o servizi per l’azione, ma non ha sottoscritto l’accordo di sovvenzione. Una terza parte rispetta le regole applicabili al suo partecipante correlato ai sensi dell’accordo di sovvenzione per quanto riguarda l’ammissibilità dei costi e il controllo delle spese.
5683 CR Best
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9747 AC GRONINGEN
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7521PH Enschede
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
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7521 PH Enschede
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7521 PH Enschede
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2628 AK Delft
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
2628 CN Delft
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73447 Oberkochen
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23100 Migdal Haemek
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5667 KV Geldrop
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
52062 Aachen
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42119 Wuppertal
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80686 Munchen
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2595 DA Den Haag
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3047 AT Rotterdam
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01109 DRESDEN
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5612 AE Eindhoven
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85551 Heimstetten
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Partner (2)
Le organizzazioni partner contribuiscono all’attuazione dell’azione, ma non sottoscrivono l’accordo di sovvenzione.
2000 Neuchatel
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Le organizzazioni partner contribuiscono all’attuazione dell’azione, ma non sottoscrivono l’accordo di sovvenzione.
1053 Cugy
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L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.