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CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
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14 Angstroms Module Integration

Descrizione del progetto

Progredire nella tecnologia dei semiconduttori di prossima generazione

L’industria dei semiconduttori deve affrontare sfide per mantenere il rapido ritmo del progresso tecnologico dettato dalla legge di Moore. Il passaggio a nodi più piccoli richiede progressi nella litografia, nella metrologia e nella progettazione dei transistor per garantire prestazioni, efficienza e producibilità. Alla scala dei 14 angstrom, la precisione nella fabbricazione, nell’ispezione e nel controllo di qualità è fondamentale per le tecnologie di calcolo, IA e comunicazione di prossima generazione. Inoltre, le preoccupazioni per la sostenibilità richiedono alternative più ecologiche ai materiali e ai processi tradizionali. In questo contesto, il progetto 14AMI, finanziato dall’UE, svilupperà soluzioni all’avanguardia per il nodo CMOS da 14Å. Concentrandosi sul perfezionamento della litografia a ultravioletti estremi (EUV), sui pionieristici metodi di metrologia olistica e sull’integrazione dei transistor complementari a effetto di campo (CFET), il progetto promuove anche la sostenibilità con fotoresistenze prive di PFAS e miglioramenti dell’efficienza guidati dall’intelligenza artificiale.

Obiettivo

The 14AMI project is about creating technological solutions for the 14 Angstrom CMOS technology node, including a fully integrated functional CFET (Complementary Field Effect Transistor) as new active CMOS device, and state-of-the-art holistic metrology techniques for both wafer and mask inspection and review. All is aimed to keep the pace in the industry to follow “Moore’s law”.
The project addresses the following 3 main pillars that are relevant in enabling manufacture of 14A technology, 1) lithography, 2) metrology and 3) process module integration.

In lithography the aim is to realize solutions for the 0.55NA EUV scanner platform to secure 14Angstrom node compliance in performance, that is, resolution, alignment, throughput and optics lifetime. In Metrology the objective is to cover wafer and mask metrology and quality control. The aim is to develop holistic metrology, tools & methods and data analytics to improve overlay, CD and focus measurement and quality control with a Precision to Tolerance, P/T, ratio between 0.1 and 0.3. In process module integration work covers the realization and demonstration of a CFET – Complementary Field Effect Transistor - CMOS device. Three options will be investigated for integration; a monolithic, sequential and a hybrid solution. In addition, the partners will develop a PFAS-free photo resist to reduce the ecological footprint of photolithography processes, and a smart AI based sensor technology to improve vacuum chambers' efficiency and reduce waste.

At societal level the expected impact of the 14AMI project will support the partners and their supplier network to stay at the leading edge of high-tech developments, crucial to meet the digitization challenges of the European society. Moreover, 14AMI will “boost industrial competitiveness”, and attract talent in Europe, while enabling new application in areas such as security, communication and enabling of further automation in mobility, health and research.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Parole chiave

Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).

Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito di questo schema di finanziamento

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

(si apre in una nuova finestra) HORIZON-KDT-JU-2022-1-IA

Vedi tutti i progetti finanziati nell’ambito del bando

Coordinatore

ASML NETHERLANDS B.V.
Contributo netto dell'UE

Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.

€ 3 917 654,98
Indirizzo
DE RUN 6501
5504DR Veldhoven
Paesi Bassi

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Regione
Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant
Tipo di attività
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Collegamenti
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

€ 25 000 000,00

Partecipanti (37)

Partner (2)

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