Projektbeschreibung
Fortschritte bei Halbleitertechnologie der nächsten Generation
Die Halbleiterindustrie steht vor Herausforderungen, da Anstrengungen unternommen werden, das durch das Mooresche Gesetz vorgegebene schnelle Tempo des technologischen Fortschritts beizubehalten. Der Übergang zu kleineren Knotenpunkten erfordert Durchbrüche in der Lithografie, der Metrologie und der Transistorentwicklung, um Leistung, Effizienz und Herstellbarkeit zu gewährleisten. Auf der 14-Ångström-Skala kommt der Aufrechterhaltung der Präzision bei der Fertigung, Inspektion und Qualitätskontrolle für die nächste Generation der Datenverarbeitungs-, KI- und Kommunikationstechnologien entscheidende Bedeutung zu. Darüber hinaus verlangt der Nachhaltigkeitsgedanke nach umweltfreundlicheren Alternativen zu traditionellen Materialien und Verfahren. In diesem Zusammenhang werden innerhalb des EU-finanzierten Projekts 14AMI innovative Lösungen für den 14Å-CMOS-Knoten entwickelt. Der Schwerpunkt liegt auf der Verfeinerung der Extrem-Ultraviolett-Lithografie, der Entwicklung ganzheitlicher Metrologieverfahren und der Integration komplementärer Feldeffekttransistoren. Das Projektteam setzt sich außerdem für Nachhaltigkeit in Form von PFAS-freien Fotolacken und KI-gesteuerten Effizienzverbesserungen ein.
Ziel
The 14AMI project is about creating technological solutions for the 14 Angstrom CMOS technology node, including a fully integrated functional CFET (Complementary Field Effect Transistor) as new active CMOS device, and state-of-the-art holistic metrology techniques for both wafer and mask inspection and review. All is aimed to keep the pace in the industry to follow Moores law.
The project addresses the following 3 main pillars that are relevant in enabling manufacture of 14A technology, 1) lithography, 2) metrology and 3) process module integration.
In lithography the aim is to realize solutions for the 0.55NA EUV scanner platform to secure 14Angstrom node compliance in performance, that is, resolution, alignment, throughput and optics lifetime. In Metrology the objective is to cover wafer and mask metrology and quality control. The aim is to develop holistic metrology, tools & methods and data analytics to improve overlay, CD and focus measurement and quality control with a Precision to Tolerance, P/T, ratio between 0.1 and 0.3. In process module integration work covers the realization and demonstration of a CFET Complementary Field Effect Transistor - CMOS device. Three options will be investigated for integration; a monolithic, sequential and a hybrid solution. In addition, the partners will develop a PFAS-free photo resist to reduce the ecological footprint of photolithography processes, and a smart AI based sensor technology to improve vacuum chambers' efficiency and reduce waste.
At societal level the expected impact of the 14AMI project will support the partners and their supplier network to stay at the leading edge of high-tech developments, crucial to meet the digitization challenges of the European society. Moreover, 14AMI will boost industrial competitiveness, and attract talent in Europe, while enabling new application in areas such as security, communication and enabling of further automation in mobility, health and research.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation ActionsKoordinator
5504DR Veldhoven
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Beteiligte (36)
76705 Rehovot
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2306990 Migdal Haemek
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4782 St Florian Am Inn
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3001 Leuven
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3001 Leuven
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76100 REHOVOT
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74000 Annecy
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6600 Reutte
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7555 RJ Hengelo Ov
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
5651 GG Eindhoven
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060042 Bucharest
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7522 NB Enschede
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5651 GH Eindhoven
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31700 Blagnac
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
7521 PH Enschede
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
Rechtsträger, der nicht Auftragnehmer ist und an einen Teilnehmer angegliedert oder rechtlich mit diesem verbunden ist. Der Rechtsträger übernimmt Arbeiten zu in der Finanzhilfevereinbarung festgelegten Bedingungen, liefert Waren oder bietet Dienstleistungen für die Aktion, unterzeichnet jedoch nicht die Finanzhilfevereinbarung. Eine Drittpartei hält sich an die Regeln, die gemäß der Finanzhilfevereinbarung für den verbundenen Teilnehmer gelten hinsichtlich der Förderfähigkeit von Kosten und der Kontrolle der Ausgaben.
5683 CR Best
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Rechtsträger, der nicht Auftragnehmer ist und an einen Teilnehmer angegliedert oder rechtlich mit diesem verbunden ist. Der Rechtsträger übernimmt Arbeiten zu in der Finanzhilfevereinbarung festgelegten Bedingungen, liefert Waren oder bietet Dienstleistungen für die Aktion, unterzeichnet jedoch nicht die Finanzhilfevereinbarung. Eine Drittpartei hält sich an die Regeln, die gemäß der Finanzhilfevereinbarung für den verbundenen Teilnehmer gelten hinsichtlich der Förderfähigkeit von Kosten und der Kontrolle der Ausgaben.
9747 AC GRONINGEN
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7521 PH Enschede
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7521PH Enschede
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
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7521 PH Enschede
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2628 AK Delft
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
2628 CN Delft
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73447 Oberkochen
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23100 Migdal Haemek
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5667 KV Geldrop
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
52062 Aachen
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42119 Wuppertal
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80686 Munchen
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2595 DA Den Haag
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3047 AT Rotterdam
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Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
01109 DRESDEN
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5612 AE Eindhoven
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85551 Heimstetten
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Partner (2)
Partnerorganisationen tragen zur Umsetzung der Aktion bei, unterzeichnen jedoch nicht die Finanzhilfevereinbarung.
2000 Neuchatel
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Partnerorganisationen tragen zur Umsetzung der Aktion bei, unterzeichnen jedoch nicht die Finanzhilfevereinbarung.
1053 Cugy
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