Obiettivo
- Installation of a club of (automotive) end users to agree on a broadly based specification.
- Development of a surface micromachined gyroscope device for automotive applications with high resolution angular rotation (0.5 °/sec) and offset stability (0.1...1°/sec), based on the TPSM process.
- Reduction of thick polysilicon stress, stress gradients and surface roughness to extend the application of the TPSM process to the gyroscope.
- Introduction of a buried polysilicon layer with low electrical resistivity into the TPSM process. This layer is needed for capacitor fields underneath the moving gyroscope structures which provide the sensor signal, and for electrical contacting.
- Improvement of the high density plasma etching process. This is the key process for silicon surface micromachining and determines the quality of the sensor structures.
- Development of electronic circuitry to drive the sensor oscillation and detect the yaw rate signal. A breadboard version of the evaluation electronics will be debugged and optimised, serving as the basis for a monolithically integrated circuit chip.
- Fabrication of a demonstrator with sensor element and electronic circuit chip mounted together in a metal housing which will be evacuated and hermetically sealed.
A surface micromachined one-axis gyroscope mainly for automotive applications with strong market penetration is to be developed based on Thick Polysilicon Surface Micromachining (TPSM) technology. The basic process will be improved to meet the stringent requirements of the gyroscope application with respect to critical material and process parameters (control of active polysilicon layer stress and stress gradients, surface roughness, inclusion of a buried polysilicon contact layer, accuracy and aspect ratio of the microstructuring process, sacrificial etching techniques, housing and vacuum encapsulation of the sensor elements). Driving and evaluation circuitry will be realised on a separate chip and combined with the sensing device by hybrid mounting.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria elettronica sensori
- scienze naturali scienze chimiche chimica inorganica metalloidi
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
70049 Stuttgart
Germania
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.