Cel
- Installation of a club of (automotive) end users to agree on a broadly based specification.
- Development of a surface micromachined gyroscope device for automotive applications with high resolution angular rotation (0.5 °/sec) and offset stability (0.1...1°/sec), based on the TPSM process.
- Reduction of thick polysilicon stress, stress gradients and surface roughness to extend the application of the TPSM process to the gyroscope.
- Introduction of a buried polysilicon layer with low electrical resistivity into the TPSM process. This layer is needed for capacitor fields underneath the moving gyroscope structures which provide the sensor signal, and for electrical contacting.
- Improvement of the high density plasma etching process. This is the key process for silicon surface micromachining and determines the quality of the sensor structures.
- Development of electronic circuitry to drive the sensor oscillation and detect the yaw rate signal. A breadboard version of the evaluation electronics will be debugged and optimised, serving as the basis for a monolithically integrated circuit chip.
- Fabrication of a demonstrator with sensor element and electronic circuit chip mounted together in a metal housing which will be evacuated and hermetically sealed.
A surface micromachined one-axis gyroscope mainly for automotive applications with strong market penetration is to be developed based on Thick Polysilicon Surface Micromachining (TPSM) technology. The basic process will be improved to meet the stringent requirements of the gyroscope application with respect to critical material and process parameters (control of active polysilicon layer stress and stress gradients, surface roughness, inclusion of a buried polysilicon contact layer, accuracy and aspect ratio of the microstructuring process, sacrificial etching techniques, housing and vacuum encapsulation of the sensor elements). Driving and evaluation circuitry will be realised on a separate chip and combined with the sensing device by hybrid mounting.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna czujniki
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metaloidy
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
70049 Stuttgart
Niemcy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.