Obiettivo
The growing pressure on manufacturers to obtain high yields from their wafer fabrication operations is leading a trend towards single wafer processing. Rapid Thermal Processing (RTP) has come to be viewed as the single wafer alternative to furnace tube processing. The project aimed to develop a multichamber RTP machine with improved control of the on-wafer temperature and including novel microwave-enhanced techniques for precleaning before oxidation or deposition processes.
The growing pressure on manufacturers to obtain high yields from their wafer fabrication operations is leading a trend towards single wafer processing. Rapid thermal processing (RTP) has come to be viewed as the single wafer alternative to furnace tube processing. The project aims at developing a multichamber RTP machine with improved control of the onwafer temperature and including novel microwave enhanced techniques for precleaning before oxidation or deposition processes.
The principal technical tasks of this project involved: the identification of the requirement put on RTP for very large scale integration (VLSI) application specific integrated circuit (ASIC), development of the RTP techniques and processes including precleaning, dielectric and polysilicon deposition and the evaluation of the new multichamber RTP machine in an industrial environment.
Several results have been demonstrated concerning: process simulation, process characterization and optimization on existing experimental reactor, temperature measurement and emissivity control and specification of the industrial automatic multichamber machine. Such equipment was expected to give high yields in high temperature processes. Because of its greater flexibility, it is expected to be an important production tool for low volume and fast turnaround ASIC.
The principal technical tasks of this project involved:
- the identification of the requirement put on RTP for VLSI ASIC
- development of the RTP techniques and processes including precleaning, dielectric and polysilicon deposition
- evaluation of the new multichamber RTP machine in an industrial environment.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
38330 MONTBONNOT
Francia
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.